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• 上海微系统与信息技术... [2]

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• OAI收割 [2]

内容类型

• 学位论文 [1]
• 期刊论文 [1]

发表日期

• 2009 [1]
• 2007 [1]

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浏览/检索结果: 共2条，第1-2条 帮助 条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序作者升序作者降序 电介质刻蚀机理研究及其在深亚微米集成电路制造中的应用 学位论文  OAI收割 博士: 中国科学院研究生院（上海微系统与信息技术研究所）  , 2009 陈乐乐 收藏  |  浏览/下载：90/0  |  提交时间：2012/03/06 SiO2刻蚀  　Si3N4刻蚀  　光学发射光谱  　刻蚀腔条件　   锑化物激光器的研究进展 期刊论文  OAI收割 材料导报, 2007, 期号: 11 刘盛; 张永刚 收藏  |  浏览/下载：30/0  |  提交时间：2012/01/06 蚀刻腔条件  SiO2刻蚀  关键尺寸