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金属研究所 [3]
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OAI收割 [3]
内容类型
期刊论文 [3]
发表日期
2024 [2]
2022 [1]
学科主题
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共3条,第1-3条
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Unveiling high-temperature stability and growth dynamics of CVD-SiOC coatings across different deposition conditions and environments
期刊论文
OAI收割
Materials Research Express, 2024, 卷号: 11, 期号: 10
作者:
Jing,Weichen
;
Tariq,Naeem ul Haq
;
Hou,Wenkang
;
Xiong,Tianying
;
Tang,Mingqiang
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提交时间:2025/04/27
SiOC coating
CVD
high-temperature stability
high-temperature growth dynamics
Development of low-stress SiC coating on single crystal Si using low elastic modulus SiOC amorphous buffer layer
期刊论文
OAI收割
JOURNAL OF NON-CRYSTALLINE SOLIDS, 2024, 卷号: 631, 页码: 8
作者:
Jing, Weichen
;
Tariq, Naeem ul Haq
;
Wang, Junchao
;
Hou, Wenkang
;
Xiong, Tianying
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提交时间:2025/04/27
SiC coating
SiOC buffer layer
MOCVD
Residual stress
Mechanical property
Development of hydrogen-free fully amorphous silicon oxycarbide coating by thermal organometallic chemical vapor deposition technique
期刊论文
OAI收割
JOURNAL OF NON-CRYSTALLINE SOLIDS, 2022, 卷号: 575, 页码: 8
作者:
Liu, Housheng
;
Tariq, Naeem ul Haq
;
Han, Rifei
;
Liu, Hanhui
;
Cui, Xinyu
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浏览/下载:94/0
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提交时间:2021/12/09
Chemical vapor deposition
Amorphous SiOC coating
Amorphous carbon