机构

• 金属研究所 [1]
• 化学研究所 [1]
• 微电子研究所 [1]
• 地球化学研究所 [1]
• 西安光学精密机械研究... [1]

采集方式

• OAI收割 [5]

内容类型

• 期刊论文 [4]
• 学位论文 [1]

发表日期

• 2014 [1]
• 2011 [1]
• 2009 [1]
• 2007 [1]
• 2002 [1]

学科主题

• 物理电子学 [1]

筛选

浏览/检索结果: 共5条，第1-5条 帮助 条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择题名升序题名降序提交时间升序提交时间降序作者升序作者降序发表日期升序发表日期降序 First-principles investigation of elastic and thermodynamic properties of SiCN under pressure 期刊论文  OAI收割 Computational Materials Science, 2014, 卷号: 95, 页码: 228-234 作者:  Jinhuan Jia;  Dawei Zhou;  Jie Zhang;  Feiwu Zhang;  Zhiwen Lu;  Chunying Pu   |  收藏  |  浏览/下载：26/0  |  提交时间：2019/08/15 Sicn  first-principles  elastic Constants  elastic Anisotropy   Vacuum Ultraviolet/Atomic Oxygen Erosion Resistance of Amorphous Si(0.26)C(0.43)N(0.31) Coating 期刊论文  OAI收割 Journal of Spacecraft and Rockets, 2011, 卷号: 48, 期号: 3, 页码: 507-512 L. F. Hu; M. S. Li; J. J. Xu; Z. Q. Sun; Y. C. Zhou 收藏  |  浏览/下载：19/0  |  提交时间：2012/04/13 atomic oxygen  films  radiation  polymers  beam  sicn   掺氮SiC薄膜制备及其光学特性的研究 学位论文  OAI收割 博士: 中国科学院西安光学精密机械研究所., 2009 赵武 收藏  |  浏览/下载：97/0  |  提交时间：2011/10/09 SiC薄膜  SiCN薄膜：HFCVD  光学特性   C^＋注入a-SiNx：H的原子化学键合的研究 期刊论文  OAI收割 半 导 体 学 报, 2007, 卷号: 38, 期号: 3, 页码: 5,415_419 作者:  陈大鹏;  陈超;  刘渝珍;  董立军;  王小波   |  收藏  |  浏览/下载：11/0  |  提交时间：2010/05/26 C注入sicn   SiCN thin film prepared at room temperature by r.f. reactive sputtering 期刊论文  OAI收割 APPLIED SURFACE SCIENCE, 2002, 卷号: 185, 期号: 3-4, 页码: 262-266 作者:  Wu, XC;  Cai, RQ;  Yan, PX;  Liu, WM;  Tian, J   |  收藏  |  浏览/下载：19/0  |  提交时间：2019/04/09 Sicn Thin Film  Room Temperature  R.f. Reactive Sputtering