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物理研究所 [2]
采集方式
OAI收割 [2]
内容类型
期刊论文 [2]
发表日期
2004 [1]
2003 [1]
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Simulation methods of ion sheath dynamics in plasma source ion implantation
期刊论文
OAI收割
CHINESE SCIENCE BULLETIN, 2004, 卷号: 49, 期号: 8, 页码: 757
Wang, JL
;
Zhang, GL
;
Wang, YN
;
Liu, YF
;
Liu, CZ
;
Yang, S
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提交时间:2013/09/24
INNER SURFACE MODIFICATION
SMALL CYLINDRICAL BORE
MONTE-CARLO SIMULATION
TIME VOLTAGE PULSES
IN-CELL SIMULATION
AUXILIARY ELECTRODE
MATRIX SHEATH
FINITE-RISE
INTERIOR SURFACE
TUBULAR MATERIAL
Influence of grid and target radius and ion-neutral collisions on grid-enhanced plasma source ion implantation process
期刊论文
OAI收割
JOURNAL OF PHYSICS D-APPLIED PHYSICS, 2003, 卷号: 36, 期号: 10, 页码: 1192
Wang, JL
;
Zhang, GL
;
Fan, SH
;
Yang, WB
;
Yang, SZ
收藏
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浏览/下载:34/0
  |  
提交时间:2013/09/17
INNER SURFACE MODIFICATION
SMALL CYLINDRICAL BORE
TIME VOLTAGE PULSES
AUXILIARY ELECTRODE
SHEATH DYNAMICS
FINITE-RISE
INTERIOR SURFACE