机构

• 长春光学精密机械与物... [2]
• 光电技术研究所 [1]
• 上海应用物理研究所 [1]

采集方式

• OAI收割 [4]

内容类型

• 期刊论文 [4]

发表日期

• 2018 [2]
• 2016 [1]
• 2015 [1]

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浏览/检索结果: 共4条，第1-4条 帮助 条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序作者升序作者降序 OPSR enhancement of high-temperature operating shallow-surface grating VCSELs 期刊论文  OAI收割 Applied Optics, 2018, 卷号: 57, 期号: 16, 页码: 4486-4490 作者:  Liu, Y. Y.;  Zhang, X.;  Huang, Y. W.;  Zhang, J. W.;  Hofmann, W.   |  收藏  |  浏览/下载：20/0  |  提交时间：2019/09/17 displacement talbot lithography  high-contrast gratings  emitting  lasers  polarization control  mode  Optics   Refined grating fabrication using Displacement Talbot Lithography 期刊论文  OAI收割 Microelectronic Engineering, 2018, 卷号: 189, 页码: 74-77 作者:  Chen, H.;  Qin, L.;  Chen, Y. Y.;  Jia, P.;  Gao, F.   |  收藏  |  浏览/下载：28/0  |  提交时间：2019/09/17 Refined grating fabrication  Displacement Talbot Lithography  Phase  shift mask  Photolighography  interferometric lithography  grids  Engineering  Science & Technology - Other Topics  Optics  Physics   Patterning of nanodot-arrays using EUV achromatic Talbot lithography at the Swiss Light Source and Shanghai Synchrotron Radiation Facility 期刊论文  OAI收割 MICROELECTRONIC ENGINEERING, 2016, 卷号: 155, 页码: 55-60 作者:  Fan, D;  Buitrago, E;  Yang, SM;  Karim, W;  Wu, YQ 收藏  |  浏览/下载：22/0  |  提交时间：2017/03/02 EUV  Interference lithography  High resolution  Nano-lithography  Achromatic Talbot lithography   Spectrum-Integral Talbot Effect for UV Photolithography With Extended DOF 期刊论文  OAI收割 IEEE PHOTONICS TECHNOLOGY LETTERS, 2015, 卷号: 27, 期号: 20, 页码: 2201-2204 作者:  Liu, Junbo;  Zhou, Shaolin;  Hu, Song;  Gao, Hongtao;  He, Yu 收藏  |  浏览/下载：43/0  |  提交时间：2015/12/04 Diffraction  depth-of-focus  Talbot lithography  microfabrication