机构

• 上海微系统与信息技术... [3]
• 物理研究所 [1]

采集方式

• OAI收割 [4]

内容类型

• 期刊论文 [4]

发表日期

• 2013 [1]
• 2012 [2]
• 2008 [1]

学科主题

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浏览/检索结果: 共4条，第1-4条 帮助 条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择作者升序作者降序发表日期升序发表日期降序题名升序题名降序提交时间升序提交时间降序 An innovative way of etching MoS2: Characterization and mechanistic investigation 期刊论文  OAI收割 NANO RESEARCH, 2013, 卷号: 6, 期号: 3, 页码: 200 Huang, Y; Wu, J; Xu, XF; Ho, YD; Ni, GX; Zou, Q; Koon, GKW; Zhao, WJ; Neto, AHC; Eda, G; Shen, CM; Ozyilmaz, B 收藏  |  浏览/下载：49/0  |  提交时间：2014/01/16 MoS2  etching  XeF2  graphene  photoluminescence  hexagonal   Isotropic Silicon Etching With XeF2 Gas for Wafer-Level Micromachining Applications 期刊论文  OAI收割 JOURNAL OF MICROELECTROMECHANICAL SYSTEMS, 2012, 卷号: 21, 期号: 6, 页码: 1436-1444 Xu, DH; Xiong, B; Wu, GQ; Wang, YC; Sun, X; Wang, YL 收藏  |  浏览/下载：33/0  |  提交时间：2013/04/23 Design rule  isotropic etching  microelectromechanical systems (MEMS)  micromachining  wafer level  XeF2 gas   Uncooled Thermoelectric Infrared Sensor With Advanced Micromachining 期刊论文  OAI收割 IEEE SENSORS JOURNAL, 2012, 卷号: 12, 期号: 6, 页码: - Xu, DH; Xiong, B; Wu, GQ; Ma, YL; Wang, YL 收藏  |  浏览/下载：39/0  |  提交时间：2013/04/23 Advanced micromachining  microelectromechanical systems (MEMS)  thermoelectric  uncooled infrared sensor  wet silicon etching  XeF2 silicon etching   MiWAVE宽带无线应急通信系统在四川抗震救灾中的应用 期刊论文  OAI收割 中国水利, 2008, 期号: 13 卜智勇 收藏  |  浏览/下载：51/0  |  提交时间：2012/01/06 热电堆  红外探测器  干法刻蚀  XeF2气体