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金属研究所 [2]
采集方式
OAI收割 [2]
内容类型
期刊论文 [2]
发表日期
2011 [1]
2005 [1]
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Analysis on the process of ZAO films by DC magnetron reactive sputtering
期刊论文
OAI收割
Science China-Technological Sciences, 2011, 卷号: 54, 期号: 1, 页码: 28-32
F. Lu
;
C. H. Xu
;
L. S. Wen
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提交时间:2012/04/13
ZAO film
resistivity
transmissivity
zno
temperature
Preparation and properties of ZnO : Al (ZAO) thin films deposited by DC reactive magnetron sputtering
期刊论文
OAI收割
ACTA METALLURGICA SINICA, 2005, 卷号: 41, 期号: 1, 页码: 84-88
作者:
Pei, ZL
;
Zhang, XB
;
Wang, TG
;
Gong, J
;
Sun, C
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提交时间:2021/02/02
DC reactive magnetron sputtering
ZAO film
growth mechanism
electrical and optical propertie