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上海微系统与信息技术... [2]
采集方式
OAI收割 [2]
内容类型
期刊论文 [2]
发表日期
2004 [1]
2003 [1]
学科主题
Materials ... [1]
Physics, A... [1]
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Studies on Al2O3/ZrO2/Al2O3 high K gate dielectrics applied in a fully depleted SOI MOSFET
期刊论文
OAI收割
METALS AND MATERIALS INTERNATIONAL, 2004, 卷号: 10, 期号: 5, 页码: 475-478
Lin, CL
;
Zhang, NL
;
Shen, QW
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提交时间:2012/03/24
ZRO2/SIO2/SI LAYERED STRUCTURE
THERMAL-STABILITY
CAPACITORS
FILM
ZRO2
HFO2
High frequency capacitance-voltage characterization of Al2O3/ZrO2/Al2O3 in fully depleted silicon-on-insulator metal-oxide-semiconductor capacitors
期刊论文
OAI收割
APPLIED PHYSICS LETTERS, 2003, 卷号: 83, 期号: 25, 页码: 5238-5240
Zhang, NL
;
Song, ZT
;
Shen, QW
;
Wu, YJ
;
Liu, QB
;
Lin, CL
;
Duo, XZ
;
Zheng, LR
;
Ding, YF
;
Zhu, ZQ
收藏
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提交时间:2012/03/24
ZRO2/SIO2/SI LAYERED STRUCTURE
THERMAL-STABILITY
MOS CAPACITORS
FILM
ZRO2
DIELECTRICS
HFO2