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• 微电子研究所 [2]

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• OAI收割 [2]

内容类型

• 期刊论文 [2]

发表日期

• 2005 [2]

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浏览/检索结果: 共2条，第1-2条 帮助 条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择题名升序题名降序提交时间升序提交时间降序作者升序作者降序发表日期升序发表日期降序 一种基于元胞自动机的显影模型 期刊论文  OAI收割 微电子学与计算机, 2005, 卷号: 22, 期号: 3, 页码: 4，277-280 作者:  刘明;  李泠;  龙世兵;  陈宝钦   |  收藏  |  浏览/下载：19/0  |  提交时间：2010/05/26 电子抗蚀剂  显影  元胞自动机  Zep520  计算机模拟   ZEP520正性电子抗蚀剂的工艺研究 期刊论文  OAI收割 微细加工技术, 2005, 期号: 1, 页码: 7，6-11,16 作者:  赵新为;  龙世兵;  李志刚;  陈宝钦;  刘明   |  收藏  |  浏览/下载：20/0  |  提交时间：2010/05/26 Zep520抗蚀剂