机构

• 上海微系统与信息技术... [1]
• 半导体研究所 [1]
• 兰州化学物理研究所 [1]

采集方式

• OAI收割 [3]

内容类型

• 期刊论文 [3]

发表日期

• 2014 [1]
• 2011 [1]
• 2007 [1]

学科主题

• Physics, M... [1]
• 微电子学 [1]
• 材料科学与物理化学 [1]

筛选

浏览/检索结果: 共3条，第1-3条 帮助 条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序作者升序作者降序 TC11及表面改性膜层在海水中的微动磨损研究 期刊论文  OAI收割 稀有金属材料与工程, 2014, 卷号: 43, 期号: 5, 页码: 1099-1104 作者:  邓凯;  于敏;  戴振东;  梁军;  张广安 收藏  |  浏览/下载：53/0  |  提交时间：2016/02/14 TC11钛合金  海水  微动磨损  微弧氧化膜  离子注入  DLC多层膜  titanium alloy TC11  seawater  fretting wear  MAO coating  ion implanting  DLC multilayer film   Influence of high-dose nitrogen implantation on the positive charge density of the buried oxide of silicon-on-insulator wafers 期刊论文  OAI收割 acta physica sinica, 2011, 卷号: 60, 期号: 5, 页码: article no.56104 作者:  Yu F 收藏  |  浏览/下载：105/6  |  提交时间：2011/07/06 separation by oxygen implantation  buried oxide  nitrogen implantation  positive charge density  RADIATION HARDNESS  IMPLANTING NITROGEN  ION-IMPLANTATION  IMPROVEMENT  TECHNOLOGY  OXYGEN  LAYER   Effect of implantation of nitrogen into SIMOX buried oxide on its fixed positive charge density 期刊论文  OAI收割 ACTA PHYSICA SINICA, 2007, 卷号: 56, 期号: 9, 页码: 5446-5451 Zheng, ZS; Zhang, EX; Liu, ZL; Zhang, ZX; Li, N; Li, GH 收藏  |  浏览/下载：16/0  |  提交时间：2012/03/24 IMPLANTING NITROGEN  RADIATION HARDNESS  SOI TECHNOLOGIES  IMPROVEMENT  LAYER  ION