机构

• 半导体研究所 [2]
• 上海光学精密机械研究... [1]

采集方式

• OAI收割 [2]
• iSwitch采集 [1]

内容类型

• 期刊论文 [3]

发表日期

• 2006 [2]
• 2005 [1]

学科主题

• 光学薄膜 [1]
• 半导体材料 [1]

筛选

浏览/检索结果: 共3条，第1-3条 帮助 条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择题名升序题名降序提交时间升序提交时间降序作者升序作者降序发表日期升序发表日期降序 High quality microcrystalline si films by hydrogen dilution profile 期刊论文  iSwitch采集 Thin solid films, 2006, 卷号: 515, 期号: 2, 页码: 452-455 作者:  Gu, Jinhua;  Zhu, Meifang;  Wang, Liujiu;  Liu, Fengzhen;  Zhou, Bingqing 收藏  |  浏览/下载：20/0  |  提交时间：2019/05/12 Microcrystalline si thin film  Hydrogen dilution profiling  Incubation layer  Uniformity   High quality microcrystalline Si films by hydrogen dilution profile 期刊论文  OAI收割 thin solid films, 2006, 卷号: 515, 期号: 2, 页码: 452-455 Gu JH (Gu Jinhua); Zhu MF (Zhu Meifang); Wang LJ (Wang Liujiu); Liu FZ (Liu Fengzhen); Zhou BQ (Zhou Bingqing); Ding K (Ding Kun); Li GH (Li Guohua) 收藏  |  浏览/下载：59/0  |  提交时间：2010/04/11 microcrystalline Si thin film  hydrogen dilution profiling  incubation layer  uniformity  CHEMICAL-VAPOR-DEPOSITION  THIN  ALLOYS  CVD   Layer uniformity of glancing angle deposition 期刊论文  OAI收割 vacuum, 2005, 卷号: 78, 期号: 1, 页码: 107, 111 Wang JH; 邵建达; Yi K; 范正修 收藏  |  浏览/下载：990/124  |  提交时间：2009/09/22 e-beam evaporation  glancing angle deposition  layer uniformity