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光电技术研究所 [2]
长春光学精密机械与物... [1]
采集方式
OAI收割 [3]
内容类型
期刊论文 [3]
发表日期
2019 [1]
2010 [1]
2008 [1]
学科主题
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共3条,第1-3条
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Analysis and correction of the distortion error in a DMD based scanning lithography system
期刊论文
OAI收割
Optics Communications, 2019, 卷号: 434, 页码: 1-6
作者:
Q.K.Li
;
Y.Xiao
;
H.Liu
;
H.L.Zhang
;
J.Xu
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提交时间:2020/08/24
Microlithography,Lithography,Digital image processing,maskless lithography,fabrication,Optics
A quick algorithm of exposure distribution for fabrication of micro-optical structures
期刊论文
OAI收割
OPTIK, 2010, 卷号: 121, 期号: 11, 页码: 988-992
作者:
Li, Shuhong
;
Du, Chunlei
;
Fu, Yongqi
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提交时间:2015/09/21
Microstructure fabrication
Lenses
Microlithography
Micro-optical devices formed by a dynamic photolithographic approach
期刊论文
OAI收割
JOURNAL OF OPTICS A-PURE AND APPLIED OPTICS, 2008, 卷号: 10, 期号: 6
作者:
Du, Chunlei
;
Dong, Xiaochun
;
Deng, Qiling
;
Shi, Lifang
;
Luo, Xiangang
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提交时间:2015/09/21
microoptical structure
microlens array
microlithography