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2013 [1]
2012 [1]
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红外探测材料与器件 [1]
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共7条,第1-7条
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On the Tributylphosphate-Based Super-Concentrated HCl System
期刊论文
OAI收割
SPECTROSCOPY AND SPECTRAL ANALYSIS, 2015, 卷号: 35, 期号: 8, 页码: 2241-2245
作者:
Guo Lin
;
Huang Kun
;
Guo Ran
;
He An-qi
;
Weng Shi-fu
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提交时间:2015/10/27
Tributyl phosphate (TBP)
Super-concentrated HCl
n(H)+/nH(2)O
Copper ion
On the Tributylphosphate-Based Super-Concentrated HCl System
期刊论文
OAI收割
SPECTROSCOPY AND SPECTRAL ANALYSIS, 2015, 卷号: 35, 期号: 8, 页码: 2241-2245
作者:
Guo Lin
;
Huang Kun
;
Guo Ran
;
He An-qi
;
Weng Shi-fu
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提交时间:2015/09/14
Tributyl phosphate (TBP)
Super-concentrated HCl
n(H)+/nH(2)O
Copper ion
On the Tributylphosphate-Based Super-Concentrated HCl System
期刊论文
OAI收割
SPECTROSCOPY AND SPECTRAL ANALYSIS, 2015, 卷号: 35, 期号: 8, 页码: 2241-2245
作者:
Guo Lin
;
Huang Kun
;
Guo Ran
;
He Anqi
;
Weng Shifu
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提交时间:2021/02/02
ACID
Tributyl phosphate (TBP)
Super-concentrated HCl
n(H)+/nH(2)O
Copper ion
Crystal Fine Structure and Optical Rotatory Angle Study on Spin Superfluidity of Intermolecular N+H center dot center dot center dot O- Hydrogen Bond Electron Cooper Pairing onto D-, L-, and DL-Valine Optical Lattices
期刊论文
OAI收割
ACTA PHYSICO-CHIMICA SINICA, 2014, 卷号: 30, 期号: 4, 页码: 608-622
作者:
Wang Wen-Qing
;
Zhang Yu-Feng
;
Gong Yan
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提交时间:2019/04/09
X-ray Crystal Fine Structure
Optical Rotatory Angle
Clockwise And counterClockwise Rotation Of Nh3 -> Co2
Intermolecular n+h Center Dot Center Dot Center Dot o(-)Hydrogen BOnd On Lattice Surface
Electron Cooper Pairing
SpIn Superfluidity In superconductIng State
D-
L- And dL-valine Crystal
Heat capacities and thermodynamic properties of [Co(AIP)(BPY)(0.5)center dot H2O](n)center dot 2nH(2)O
期刊论文
OAI收割
thermochimica acta, 2013, 卷号: 566, 页码: 15-18
作者:
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提交时间:2015/11/09
[Co(AIP)(BPY)(0.5)center dot H2O](n)center dot 2nH(2)O
Coordination polymer
TMDSC
Molar heat capacity
TG
一种缓释型青霉素阴离子插层水滑石材料及其制备和应用
专利
OAI收割
专利类型: 发明, 专利号: CN201110290535.3, 申请日期: 2012-06-20, 公开日期: 2012-06-20
作者:
王毅
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提交时间:2014/08/04
一种缓释型青霉素阴离子插层水滑石材料
M3+为Al3+
M2+/M3+的摩尔比为1.6~4.5
0.2≤x≤0.4。
其特征在于:所述水滑石材料化学组成通式为[M2+1?xM3+x(OH)2]x+(C16H17N2O4S?)x·nH2O
Cr3+
M2+为Mg2+
Fe3+
Zn2+
V3+
Ni2+
Co3+
Fe2+或Mn2+的二价金属离子
Ga3+或Ti3+的三价金属离子
短波红外InGaAs探测器的台面成型技术研究
学位论文
OAI收割
: 中国科学院研究生院, 2009
作者:
宁锦华
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提交时间:2012/08/22
由于ingaas 短波红外探测器具有可以室温工作
探测率高等优点
Ingaas线列红外焦平面在国外已经成功用于空间遥感。本论文主要围绕台面结构的ingaas探测器制备的台面成型工艺展开研究
重点研究了感应耦合等离子体刻蚀(icp)台面成型工艺。同时利用不同的台面成型方式制备ingaas探测器
通过最终性能的比较
评价得出较好的台面成型方式
为ingaas红外焦平面的研制提供工艺参考。取得结果如下:icp刻蚀中掩膜的材料致密性
侧壁粗糙度和垂直度等对刻蚀效果具有至关重要的影响。为了使刻蚀残留物挥发掉
铟基材料的刻蚀需要对样品加热
在此温度下
光刻胶掩膜会碳化。对于ingaas材料来说
采用pecvd生长sinx
选择边缘平整的光刻板
用sf6 Rie刻蚀sinx后用hf:nh4f:h2o为3:6:10的溶液常温腐蚀6秒
可以实现垂直光滑的刻蚀端面。ch4/cl2刻蚀铟基材料表面光洁无残留物
但对于制备2µm左右台面深度的延伸波长ingaas探测器
平均刻蚀速率过快
同时钻蚀略大了些。ar气和n2能加速cl2的分离
提高刻蚀速率
相比较ar气
N2的物理轰击力小
对材料造成的损伤小
同时在刻蚀过程中n2能和材料中的si发生反应生成sinx
在材料表面产生钝化。用cl2/n2作为刻蚀气体对ingaas探测器进行台面成型
能得到刻蚀速率稳定可控
刻蚀后的表面光洁无残留物
图形保真度好。在不同的直流偏压
Icp功率
气体总流量和气体组分等参数下进行台面成型
并从刻蚀速率
刻蚀垂直度
刻蚀表面粗糙度等几个方面对刻蚀质量做了评估和分析。在摸清铟基材料刻蚀规律的基础上
找到了可用于常规波长和延伸波长ingaas探测器制备的icp刻蚀参数。icp刻蚀与湿法腐蚀台面成型的八元台面器件具有相同的性能。但是在器件性能相当的情况下
Icp具有图形保真度好
刻蚀速率稳定可控的优点
因而更适用于ingaas探测器的工程制作
特别在小光敏元探测器的制备中
Icp的优势将更明显。