机构

• 长春光学精密机械与物... [2]
• 兰州化学物理研究所 [1]

采集方式

• OAI收割 [3]

内容类型

• 期刊论文 [2]
• 学位论文 [1]

发表日期

• 2014 [1]
• 2004 [1]
• 2000 [1]

学科主题

• 材料科学与物理化学 [1]

筛选

浏览/检索结果: 共3条，第1-3条 帮助 条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择题名升序题名降序提交时间升序提交时间降序作者升序作者降序发表日期升序发表日期降序 磁控溅射制备氢化硅薄膜及其特性研究 学位论文  OAI收割 工学博士: 中国科学院大学, 2014 王林青 收藏  |  浏览/下载：299/0  |  提交时间：2014/11/25 氢化硅薄膜  磁控溅射  辅助离子束  磷掺杂  硼掺杂  Hydrogenated Si thin films  Magnetron sputtering  Assisted ion beam  P-doping  B-doping   p-Si薄膜生长的ECR-CVD等离子体系统的结构设计 期刊论文  OAI收割 液晶与显示, 2004, 期号: 03, 页码: 199-201 作者:  刘永刚;  胡立发;  宣丽 收藏  |  浏览/下载：23/0  |  提交时间：2013/03/11 电子回旋共振  微波等离子体  p-Si薄膜   激光退火法低温制备多晶硅薄膜的研究 期刊论文  OAI收割 液晶与显示, 2000, 期号: 01, 页码: 46-52 刘传珍; 杨柏梁; 李牧菊; 吴渊; 张玉; 李轶华; 邱法斌; 黄锡珉 收藏  |  浏览/下载：17/0  |  提交时间：2013/03/11 p-Si薄膜  激光退火  能量密度