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合肥物质科学研究院 [1]
近代物理研究所 [1]
采集方式
OAI收割 [2]
内容类型
期刊论文 [2]
发表日期
2022 [1]
2008 [1]
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Benchmark experiments of the power law parametrization of the effective ion collecting area of a planar Langmuir probe in low temperature plasmas
期刊论文
OAI收割
PLASMA SOURCES SCIENCE & TECHNOLOGY, 2022, 卷号: 31
作者:
Lim, Yegeon
;
Severn, Greg
;
Yip, Chi-Shung
;
Ghim, Y-C
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提交时间:2022/03/21
planar Langmuir probe
ion sheaths
ion collecting area
power law dependence
Improving the uniformity of RF-plasma density by a humped variable-gap spiral antenna
期刊论文
OAI收割
CHINESE PHYSICS B, 2008, 卷号: 17, 页码: 4242-4246
作者:
Xu Xu
;
Li Lin-Sen
;
Liu Feng
;
Zhou Qian-Hong
;
Liang Rong-Qing
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提交时间:2018/05/31
inductively coupled plasma
Langmuir probe
planar antenna
density uniformity