机构

• 上海微系统与信息技术... [2]
• 物理研究所 [1]
• 半导体研究所 [1]

采集方式

• OAI收割 [4]

内容类型

• 期刊论文 [4]

发表日期

• 2012 [2]
• 2011 [1]
• 2010 [1]

学科主题

• Automation... [1]
• Engineerin... [1]
• 微电子学 [1]

筛选

浏览/检索结果: 共4条，第1-4条 帮助 条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择题名升序题名降序提交时间升序提交时间降序作者升序作者降序发表日期升序发表日期降序 Micro-/Nanocombined Gas Sensors With Functionalized Mesoporous Thin Film Self-Assembled in Batches Onto Resonant Cantilevers 期刊论文  OAI收割 IEEE TRANSACTIONS ON INDUSTRIAL ELECTRONICS, 2012, 卷号: 59, 期号: 12, 页码: 4881-4887 Yu, HT; Xu, PC; Xia, XY; Lee, DW; Li, XX 收藏  |  浏览/下载：25/0  |  提交时间：2013/04/23 Chemical sensor  in-wall modification  mesoporous thin film (MTF)  microelectromechanical systems (MEMS)  resonant cantilever   A chelating-bond breaking and re-linking technique for rapid re-immobilization of immune micro-sensors 期刊论文  OAI收割 BIOMEDICAL MICRODEVICES, 2012, 卷号: 14, 期号: 2, 页码: 303-311 Xu, TG; Yu, HT; Xu, PC; Li, XX 收藏  |  浏览/下载：53/0  |  提交时间：2013/04/23 Resonant micro-cantilever  Chelating-based breakable and re-linkable bond  Immune biosensor  antibody re-immobilization  Bacillus Anthracis  E. Coli O157:H7  Pathogenic microbial   Stability of Mechanical Properties for Submicrometer Single-Crystal Silicon Cantilever Under Cyclic Load 期刊论文  OAI收割 journal of microelectromechanical systems, 2011, 卷号: 20, 期号: 1, 页码: 178-183 Zhu YF; Zhang FX; Yang JL; Zheng HY; Yang FH 收藏  |  浏览/下载：57/8  |  提交时间：2011/07/06 Cyclic  mechanical property  resonant frequency  stability  submicrometer-thick cantilever  ENERGY-DISSIPATION  STRUCTURAL FILMS  THIN-FILMS  FATIGUE   Electromechanical Behavior of Interdigitated SiO2 Cantilever Arrays 期刊论文  OAI收割 CHINESE PHYSICS LETTERS, 2010, 卷号: 27, 期号: 2 Guan, ZQ; Luo, G; Montelius, L; Xu, HX 收藏  |  浏览/下载：25/0  |  提交时间：2013/09/17 PULL-IN INSTABILITY  RESONANT CANTILEVER  SENSORS  MICROCANTILEVER  GAUGES