机构

• 半导体研究所 [4]
• 微电子研究所 [1]

采集方式

• OAI收割 [4]
• iSwitch采集 [1]

内容类型

• 期刊论文 [3]
• 会议论文 [1]
• 外文期刊 [1]

发表日期

• 2011 [1]
• 2008 [1]
• 2007 [2]
• 2004 [1]

学科主题

• 微电子学 [3]

筛选

浏览/检索结果: 共5条，第1-5条 帮助 条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择题名升序题名降序提交时间升序提交时间降序作者升序作者降序发表日期升序发表日期降序 An Effective Approach for Restraining Galvanic Corrosion of Polycrystalline Silicon by Hydrofluoric-Acid-Based Solutions 期刊论文  OAI收割 journal of microelectromechanical systems, 2011, 卷号: 20, 期号: 2, 页码: 470-475 Liu YF; Xie J; Zhang ML; Yang JL; Yang FH 收藏  |  浏览/下载：62/1  |  提交时间：2011/07/06 Galvanic corrosion  polysilicon  resistivity  titanium (Ti) redox sacrificial layer  POLYSILICON  OXIDATION   Two microthermal shear stress sensors: surface micromachined and bulk-bonding micromachined 外文期刊  OAI收割 2008 作者:  Shi, SL;  Yi, L;  Chen, DP;  Ou, Y;  Jing, YP   |  收藏  |  浏览/下载：18/0  |  提交时间：2010/11/26 Thermal Flow Sensors  Sacrificial Layer  Dry Release   Fabrication of nanoscale metallic air-bridges by introducing a sio2 sacrificial layer 期刊论文  iSwitch采集 Materials science in semiconductor processing, 2007, 卷号: 10, 期号: 4-5, 页码: 194-199 作者:  Zhang, Yang;  Liu, Jian;  Li, Yan;  Yang, Fuhua 收藏  |  浏览/下载：23/0  |  提交时间：2019/05/12 Nanoscale metallic air-bridge  Sacrificial layer  Electron-beam lithography   Fabrication of nanoscale metallic air-bridges by introducing a SiO2 sacrificial layer 期刊论文  OAI收割 materials science in semiconductor processing, 2007, 卷号: 10, 期号: 39908, 页码: 194-199 Zhang, Y; Liu, J; Li, Y; Yang, FH 收藏  |  浏览/下载：74/2  |  提交时间：2010/03/08 nanoscale metallic air-bridge  sacrificial layer  electron-beam lithography   A silicon capacitive microphone based on oxidized porous silicon sacrificial technology 会议论文  OAI收割 7th international conference on solid-state and integrated circuits technology, beijing, peoples r china, oct 18-21, 2004 Ning, J; Liu, ZL; Liu, HZ; Ge, YC 收藏  |  浏览/下载：174/37  |  提交时间：2010/03/29 silicon capacitive microphone  oxidized porous silicon  sacrificial layer