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• 苏州纳米技术与纳米仿... [1]
• 沈阳自动化研究所 [1]

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• OAI收割 [2]

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• 期刊论文 [2]

发表日期

• 2015 [1]
• 2013 [1]

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浏览/检索结果: 共2条，第1-2条 帮助 条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择题名升序题名降序提交时间升序提交时间降序作者升序作者降序发表日期升序发表日期降序 Micro-electro-mechanical systems capacitive ultrasonic transducer with a higher electromechanical coupling coefficient 期刊论文  OAI收割 Micro & Nano Letters, 2015, 卷号: 10, 期号: 10, 页码: 4 作者:  Miao, J(苗静);  Shen, WJ(沈文江);  He, CD;  Xue, CY;  Xiong, JJ 收藏  |  浏览/下载：84/0  |  提交时间：2015/12/31 silicon  elemental semiconductors  silicon-on-insulator  wafer bonding  electromechanical effects  ultrasonic transducers  capacitive transducers  micromechanical devices  micromachining  vibrations  membranes  finite element analysis  reliability  capacitance  electromechanical coupling coefficient  capacitive micromachined ultrasonic transducer  impedance matching  propagation medium  microelectromechanical system capacitive ultrasonic transducer  silicon on insulator  wafer bonding  optimum geometric dimensions  membrane mechanical vibration  electrical characteristics  finite-element analysis  operation mode  device safety  device reliability  equivalent stress  operation-collapse voltage  bottom electrodes  glass substrate surface  parallel parasitic capacitance  Si  SiO2   Optimization of electrode size for aluminum-nitride matrix ultrasonic transducers in the frequency range above 200 MHz 期刊论文  OAI收割 Ultrasonics, 2013, 卷号: 53, 期号: 3, 页码: 739-744 作者:  Wei YJ(魏阳杰);  Herzog, Thomas;  Heuer, Henning 收藏  |  浏览/下载：31/0  |  提交时间：2013/04/21 Aluminum  Aluminum nitride  Nitrides  Optimization  Silicon wafers  Thin films  Ultrasonic transducers