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  • 材料科学与物理化学 [2]
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Argon ion beam assisted magnetron sputtering deposition of boron-doped a-Si:H thin films with improved conductivity 期刊论文  OAI收割
Journal of Non-Crystalline Solids, 2013, 卷号: 378, 页码: 177-180
作者:  Wang LQ(王凌倩);  Wang, Weiyan;  Huang, Junjun;  Zeng, Yuheng;  Tan, Ruiqin
收藏  |  浏览/下载：19/0  |  提交时间：2015/10/19
Effect of different ion beam energy on properties of amorphous carbon film fabricated by ion beam sputtering deposition (IBSD) 期刊论文  OAI收割
Nuclear Instruments and Methods in Physics Research B, 2011, 卷号: 269, 页码: 1871-1877
作者:  Zhang GA(张广安)
收藏  |  浏览/下载：11/0  |  提交时间：2012/09/24