机构

• 微电子研究所 [1]

采集方式

• OAI收割 [1]

内容类型

• 期刊论文 [1]

发表日期

• 2016 [1]

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浏览/检索结果: 共1条，第1-1条 帮助 限定条件 发表日期：2016    专题：微电子研究所    第一署名单位    第一作者单位    通讯作者单位     条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择提交时间升序提交时间降序题名升序题名降序作者升序作者降序发表日期升序发表日期降序 Investigation of thermal atomic layer deposited TiAlX (X = N or C) film as metal gate 期刊论文  OAI收割 Solid-State Electronics, 2016 作者:  Wang XL(王晓磊);  Xiang JJ(项金娟);  Zhang YB(张严波);  Li TT(李亭亭);  Gao JF(高建峰)   |  收藏  |  浏览/下载：8/0  |  提交时间：2017/05/09