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• 上海微系统与信息技术... [2]

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• 期刊论文 [2]

发表日期

• 2009 [1]
• 2008 [1]

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浏览/检索结果: 共2条，第1-2条 帮助 限定条件 专题：上海微系统与信息技术研究所    第一署名单位    第一作者单位    通讯作者单位     条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择题名升序题名降序提交时间升序提交时间降序作者升序作者降序发表日期升序发表日期降序 一种电容间隙精确可控的高对称加速度传感器 期刊论文  OAI收割 固体电子学研究与进展, 2009, 期号: 01 毛健; 车录锋; 林友玲; 李玉芳; 周晓峰; 熊斌; 王跃林 收藏  |  浏览/下载：19/0  |  提交时间：2012/01/06 微机电系统  扫描微镜  约束扭转  单晶硅直梁  横向弯矩  扭转力矩   GaAs/InGaP异质界面的湿法腐蚀 期刊论文  OAI收割 功能材料与器件学报, 2008, 期号: 03 林玲; 王伟; 徐安怀; 孙晓玮; 齐鸣 收藏  |  浏览/下载：25/0  |  提交时间：2012/01/06 微机电系统  侧壁压阻  定位平台  反应离子刻蚀  位移传感器