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合肥物质科学研究院 [2]
采集方式
OAI收割 [2]
内容类型
期刊论文 [2]
发表日期
2022 [1]
2020 [1]
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The application of a helicon plasma source in reactive sputter deposition of tungsten nitride thin films
期刊论文
OAI收割
Plasma Science and Technology, 2022, 卷号: 24
作者:
YANG,Yan
;
JI,Peiyu
;
LI,Maoyang
;
YU,Yaowei
;
HUANG,Jianjun
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提交时间:2022/12/22
helicon wave plasma
reactive sputtering
tungsten nitride
plasma diagnosis
Helicon-Wave-Excited Helium Plasma Performance and Wall-Conditioning Study on EAST
期刊论文
OAI收割
IEEE TRANSACTIONS ON PLASMA SCIENCE, 2020, 卷号: 48
作者:
Huang, Tianyuan
;
Jin, Chenggang
;
Yu, Yaowei
;
Hu, Jiansheng
;
Yang, Jianhua
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提交时间:2020/11/30
Helicon wave plasma (HWP)
tokamaks
wall conditioning