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• 中国科学院大学 [1]

采集方式

• iSwitch采集 [1]

内容类型

• 期刊论文 [1]

发表日期

• 2009 [1]

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浏览/检索结果: 共1条，第1-1条 帮助 条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择提交时间升序提交时间降序发表日期升序发表日期降序题名升序题名降序作者升序作者降序 Influence of methane flow on the microstructure and properties of tial-doped a-c:h films deposited by middle frequency reactive magnetron sputtering 期刊论文  iSwitch采集 Surface and interface analysis, 2009, 卷号: 41, 期号: 12-13, 页码: 924-930 作者:  Pang, Xianjuan;  Shi, Lei;  Wang, Peng;  Xia, Yanqiu;  Liu, Weimin 收藏  |  浏览/下载：35/0  |  提交时间：2019/05/10 Magnetron sputtering  Hydrogenated tial-doped a-c:h film  Structure  Tribological properties