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  • 半导体研究所 [27]
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一种硅基集成化的光学向量-矩阵乘法器 专利  OAI收割
专利类型: 发明, 申请日期: 2010-08-12, 公开日期: 2010-01-20, 2010-08-12, 2010-10-15
张 磊; 耿敏明; 杨 林; 贾连希; 田贺斌; 陈 平; 王 桐; 刘育梁
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多晶立方相碳化硅微机电系统谐振器件及其制作方法 专利  OAI收割
专利类型: 发明, 申请日期: 2009-06-03, 公开日期: 3996, 2010-10-15
王 亮; 宁 瑾; 孙国胜; 王 雷; 赵万顺; 赵永梅; 刘兴昉 
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同侧输入、输出的微环传感器结构及其封装方法 专利  OAI收割
专利类型: 发明, 专利号: CN201010143080.8, 公开日期: 2011-08-30
王春霞; 苏保青; 陈弘达
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一种频率可切换的微机械谐振器及其制备方法 专利  OAI收割
专利类型: 发明, 公开日期: 2014-04-30
赵晖; 杨晋玲; 杨富华
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一种微机械谐振器及其制作方法 专利  OAI收割
专利类型: 发明, 公开日期: 2013-09-04
杨晋玲; 赵晖; 骆伟; 袁泉; 杨富华
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采用压电材料制备的阵列结构微机电谐振器 专利  OAI收割
专利类型: 发明, 公开日期: 2013-04-03, 2013-04-03
康中波; 司朝伟; 宁瑾; 韩国威
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基于微环谐振器结构的全光逻辑异或非门结构 专利  OAI收割
专利类型: 发明, 专利号: CN201010115705.X, 公开日期: 2011-08-30, 2011-08-30, 2011-08-30
翟耀; 陈少武
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频率可切换的微机械谐振器 专利  OAI收割
专利类型: 发明, 公开日期: 2013-09-25
赵晖; 杨晋玲; 骆伟; 杨富华
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环形检测电极面内伸缩谐振器设计及其制备方法 专利  OAI收割
专利类型: 发明, 公开日期: 2016-09-12
张萌; 宁瑾; 司朝伟; 韩国威; 赵永梅
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频率可调的MEMS谐振器 专利  OAI收割
专利类型: 发明, 公开日期: 2013-10-02
骆伟; 赵晖; 袁泉; 杨晋玲; 杨富华
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