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机构
电子学研究所 [1]
采集方式
OAI收割 [1]
内容类型
学位论文 [1]
发表日期
2015 [1]
学科主题
Sensor [1]
Vacuum [1]
传感器 [1]
真空电子技术 [1]
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共1条,第1-1条
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学科主题:Vacuum
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高Q值的谐振式MEMS气压传感器的研究
学位论文
OAI收割
博士, 北京: 中国科学院大学, 2015
罗振宇
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浏览/下载:68/0
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提交时间:2015/06/05
谐振式
压力传感器
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差频检测
温度补偿