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机构
上海微系统与信息技术... [6]
金属研究所 [1]
采集方式
OAI收割 [7]
内容类型
成果 [7]
发表日期
2008 [1]
2007 [1]
2005 [1]
2004 [1]
2001 [2]
1999 [1]
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共7条,第1-7条
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光通信用微光机电关键技术
成果
OAI收割
鉴定: 无, 2008
王跃林等
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浏览/下载:20/0
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提交时间:2013/04/12
一种单硅片体微机械工艺实现的带静电自检测的加速度计
成果
OAI收割
鉴定: 无, 2007
李昕欣
;
王跃林
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浏览/下载:10/0
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提交时间:2013/04/12
底部三面保护的硅尖制作方法
成果
OAI收割
鉴定: 无, 2005
未知
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浏览/下载:15/0
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提交时间:2013/04/12
采用侧墙技术制备有纳米硅通道的埋氧的方法
成果
OAI收割
鉴定: 无, 2004
董业民
;
王曦
;
陈猛
;
陈静
收藏
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浏览/下载:10/0
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提交时间:2013/04/12
以氮化铝为绝缘埋层的绝缘体上的硅材料制备方法
成果
OAI收割
鉴定: 无, 2001
林成鲁
;
张苗
;
王连卫
;
黄继颇
;
多新中
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提交时间:2013/04/12
玻璃上的硅光波导材料及其制作方法
成果
OAI收割
鉴定: 无, 2001
王跃林
;
王文辉
;
李铁
;
杨艺榕
收藏
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浏览/下载:22/0
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提交时间:2013/04/12
有机硅烷激光气相合成硅基超细粉
成果
OAI收割
1999
梁勇
;
李亚利
;
郑丰
;
肖克沈
;
线全刚
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浏览/下载:37/0
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提交时间:2013/07/24
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