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光通信用微光机电关键技术 成果  OAI收割
鉴定: 无, 2008
王跃林等
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一种单硅片体微机械工艺实现的带静电自检测的加速度计 成果  OAI收割
鉴定: 无, 2007
李昕欣; 王跃林
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底部三面保护的硅尖制作方法 成果  OAI收割
鉴定: 无, 2005
未知
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采用侧墙技术制备有纳米硅通道的埋氧的方法 成果  OAI收割
鉴定: 无, 2004
董业民; 王曦; 陈猛; 陈静
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以氮化铝为绝缘埋层的绝缘体上的硅材料制备方法 成果  OAI收割
鉴定: 无, 2001
林成鲁; 张苗; 王连卫; 黄继颇; 多新中
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玻璃上的硅光波导材料及其制作方法 成果  OAI收割
鉴定: 无, 2001
王跃林; 王文辉; 李铁; 杨艺榕
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有机硅烷激光气相合成硅基超细粉 成果  OAI收割
1999
梁勇; 李亚利; 郑丰; 肖克沈; 线全刚
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