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上海光学精密机械研究... [4]
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OAI收割 [4]
内容类型
学位论文 [4]
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学科主题
光学工程 [4]
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学科主题:光学工程
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光刻机光瞳整形系统设计与仿真研究
学位论文
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作者:
马健
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提交时间:2018/12/26
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光瞳整形
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轴锥镜组
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作者:
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提交时间:2018/12/26
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提交时间:2018/12/26
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spatial light modulation
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光束质量
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高功率激光光束质量提升关键因素研究
学位论文
OAI收割
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雷泽民
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提交时间:2018/12/26
光束质量
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continuous phase plate
集束聚焦
beam array focus