机构

• 上海光学精密机械研究... [3]

采集方式

• OAI收割 [3]

内容类型

• 学位论文 [2]
• 期刊论文 [1]

发表日期

• 2014 [1]
• 2006 [1]

学科主题

• 光学工程 [1]
• 激光技术;激光器设计... [1]

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浏览/检索结果: 共3条，第1-3条 帮助 限定条件 专题：上海光学精密机械研究所    第一署名单位    第一作者单位    通讯作者单位     条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择提交时间升序提交时间降序发表日期升序发表日期降序题名升序题名降序作者升序作者降序 基于达曼光栅的并行激光直写光刻机研究 学位论文  OAI收割 博士: 中国科学院上海光学精密机械研究所, 2014 作者:  朱锋 收藏  |  浏览/下载：139/0  |  提交时间：2016/11/28 激光并行直写  自动聚焦  达曼光栅  微纳加工  误差分析与校正   高功率脉冲氙灯的动态PSpice模型研究 期刊论文  OAI收割 应用激光, 2006, 卷号: 26, 期号: 6, 页码: 457, 459 曹曙光; 邵若燕; 林文正; 蒋宝财; 夏娟 收藏  |  浏览/下载：993/242  |  提交时间：2009/09/24 氙灯  仿真  PSpice  模型   浸没式光刻机投影物镜波像差检测技术研究 学位论文  OAI收割 作者:  诸波尔   |  收藏  |  浏览/下载：89/0  |  提交时间：2018/12/26 浸没式光刻机  Immersion lithography tool  投影物镜  Projection lens  波像差检测  Wavefront aberration measurement  空间像  Aerial image  主成分分析  Principal component analysis (PCA)