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机构
微电子研究所 [7]
采集方式
OAI收割 [7]
内容类型
外文期刊 [7]
发表日期
2009 [2]
2007 [2]
2004 [2]
2003 [1]
学科主题
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浏览/检索结果:
共7条,第1-7条
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限定条件
内容类型:外文期刊
条数/页:
5
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70
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80
85
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Oxygen Effects on a He/O-2 Plasma Jet at Atmospheric Pressure
外文期刊
OAI收割
2009
作者:
Wan, J
;
Wang, SG
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浏览/下载:8/0
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提交时间:2010/11/26
Glow-discharge
Surface Treatment of Flat Panel Display Substrates by a Uniform Large Area Glow Cold Plasma Tunnel at Atmospheric Pressure
外文期刊
OAI收割
2009
作者:
Wan, J
;
Jia, XH
;
Zhao, LL
;
Wang, S
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浏览/下载:29/0
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提交时间:2010/11/26
Corona Discharge
Jet
Photoresist
Deposition of SiOx films with a capacitively-coupled plasma at atmospheric pressure
外文期刊
OAI收割
2007
作者:
Xu, XY
;
Li, L
;
Wang, SG
;
Zhao, LL
;
Ye, TC
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浏览/下载:7/0
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提交时间:2010/11/26
Chemical-vapor-deposition
Silicon Dioxide Films
Discharge
Jet
Temperature comparison for non-equilibrium atmospheric pressure Ar and He plasma jets
外文期刊
OAI收割
2007
作者:
Duan, XJ
;
Xu, XY
;
Zhao, LL
;
Wang, SG
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浏览/下载:5/0
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提交时间:2010/11/26
Dielectric-barrier
Argon
Discharges
Deposition
Basic characteristics of an atmospheric pressure rf generated plasma jet
外文期刊
OAI收割
2004
作者:
Wang, SG
;
Li, HJ
;
Ye, TC
;
Zhao, LL
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浏览/下载:13/0
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提交时间:2010/11/26
Silicon Dioxide Films
Dielectric-barrier
Deposition
Discharge
Study on an atmospheric pressure plasma jet and its application in etching photo-resistant materials
外文期刊
OAI收割
2004
作者:
Li, HJ
;
Wang, SG
;
Zhao, LL
;
Ye, TC
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浏览/下载:10/0
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提交时间:2010/11/26
Silicon Dioxide Films
Deposition
Discharge comparison of nonequilibrium atmospheric pressure Ar/O-2 and He/O-2 plasma jets
外文期刊
OAI收割
2003
作者:
Wang, S
;
Schulz-von der Gathen, V
;
Dobele, HF
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浏览/下载:11/0
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提交时间:2010/11/26
Dielectric-barrier
Deposition