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Fabrication of high quality strained SiGe on Si substrate by RPCVD 期刊论文  OAI收割
CHINESE SCIENCE BULLETIN, 2012, 卷号: 57, 期号: 15, 页码: 1862-1867
Xue, ZY; Chen, D; Liu, LJ; Jiang, HT; Bian, JT; Wei, X; Di, ZF; Zhang, M; Wang, X
收藏  |  浏览/下载:61/0  |  提交时间:2013/04/17
Fabrication of high quality strained SiGe on Si substrate by RPCVD 期刊论文  OAI收割
CHINESE SCIENCE BULLETIN, 2012, 卷号: 57, 期号: 15, 页码: 1862-1867
Xue, ZY; Chen, D; Liu, LJ; Jiang, HT; Bian, JT; Wei, X; di, zf(重点实验室); Zhang, M(重点实验室); Wang, X(重点实验室)
收藏  |  浏览/下载:9/0  |  提交时间:2013/05/10