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上海微系统与信息技术... [2]
采集方式
OAI收割 [2]
内容类型
期刊论文 [2]
发表日期
2012 [2]
学科主题
Science & ... [2]
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共2条,第1-2条
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学科主题:Science & Technology - Other Topics
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Fabrication of high quality strained SiGe on Si substrate by RPCVD
期刊论文
OAI收割
CHINESE SCIENCE BULLETIN, 2012, 卷号: 57, 期号: 15, 页码: 1862-1867
Xue, ZY
;
Chen, D
;
Liu, LJ
;
Jiang, HT
;
Bian, JT
;
Wei, X
;
Di, ZF
;
Zhang, M
;
Wang, X
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提交时间:2013/04/17
SiGe
epitaxial growth
growth rate
Ge content
Fabrication of high quality strained SiGe on Si substrate by RPCVD
期刊论文
OAI收割
CHINESE SCIENCE BULLETIN, 2012, 卷号: 57, 期号: 15, 页码: 1862-1867
Xue, ZY
;
Chen, D
;
Liu, LJ
;
Jiang, HT
;
Bian, JT
;
Wei, X
;
di, zf(重点实验室)
;
Zhang, M(重点实验室)
;
Wang, X(重点实验室)
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提交时间:2013/05/10
Multidisciplinary Sciences