机构

• 半导体研究所 [2]

采集方式

• iSwitch采集 [1]
• OAI收割 [1]

内容类型

• 期刊论文 [2]

发表日期

• 2009 [2]

学科主题

• 半导体材料 [1]

筛选

浏览/检索结果: 共2条，第1-2条 帮助 限定条件 发表日期：2009     条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择提交时间升序提交时间降序发表日期升序发表日期降序题名升序题名降序作者升序作者降序 Comparison and combination of several stress relief methods for cubic boron nitride films deposited by ion beam assisted deposition 期刊论文  iSwitch采集 Surface & coatings technology, 2009, 卷号: 203, 期号: 10-11, 页码: 1452-1456 作者:  Fan, Y. M.;  Zhang, X. W.;  You, J. B.;  Tan, H. R.;  Chen, N. F. 收藏  |  浏览/下载：11/0  |  提交时间：2019/05/12 Cubic boron nitride  Stress relaxation  Ion beam assisted deposition  Fourier transformed infrared spectroscopy   Comparison and combination of several stress relief methods for cubic boron nitride films deposited by ion beam assisted deposition 期刊论文  OAI收割 surface & coatings technology, 2009, 卷号: 203, 期号: 10-11, 页码: 1452-1456 作者:  Tan HR;  Zhang XW;  You JB;  Fan YM 收藏  |  浏览/下载：262/33  |  提交时间：2010/03/08 Cubic boron nitride  Stress relaxation  Ion beam assisted deposition  Fourier transformed infrared spectroscopy