机构

• 光电技术研究所 [5]

采集方式

• OAI收割 [5]

内容类型

• 会议论文 [2]
• 期刊论文 [2]
• 学位论文 [1]

发表日期

• 2019 [1]
• 2017 [1]
• 2014 [1]
• 2013 [1]
• 2012 [1]

学科主题

• Aberration... [1]
• Abrasives ... [1]

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浏览/检索结果: 共5条，第1-5条 帮助 限定条件 专题：光电技术研究所    第一署名单位    第一作者单位    通讯作者单位     条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择提交时间升序提交时间降序发表日期升序发表日期降序题名升序题名降序作者升序作者降序 Highly accurate positioned, rapid figure correction by reactive ion etching for large aperture lightweight membrane optical elements 期刊论文  OAI收割 OSA Continuum, 2019, 卷号: 2, 期号: 12, 页码: 3350-3357 作者:  Li, Zhiwei;  Shao, Junming;  Luo, Qian;  Lei, Boping;  Gao, Guohan   |  收藏  |  浏览/下载：23/0  |  提交时间：2021/05/06 干涉面形绝对检测不确定度评估方法研究 学位论文  OAI收割 博士, 北京: 中国科学院研究生院, 2017 作者:  全海洋 收藏  |  浏览/下载：44/0  |  提交时间：2017/06/02 光学检测  干涉计量  绝对检测  三平板绝对检测  不确定度评估   The impact of polarization on grating performance of the lateral shearing interferometer 会议论文  OAI收割 Proceedings of SPIE: 7th International Symposium on Advanced Optical Manufacturing and Testing Technologies: Optical Test and Measurement Technology and Equipment, 2014 作者:  Yao, Zhengpeng;  Liu, Xuefeng;  Xing, Tingwen 收藏  |  浏览/下载：13/0  |  提交时间：2016/11/23 Orthogonal experiment and analysis on process parameters of bowl feed polishing (BFP) 会议论文  OAI收割 Proceedings of SPIE: International Symposium on Photoelectronic Detection and Imaging 2013: Micro/Nano Optical Imaging Technologies and Applications, 2013 作者:  Kai, Meng;  Yongjian, Wan;  Qinglan, Xu;  Zhang, Yang 收藏  |  浏览/下载：8/0  |  提交时间：2016/11/24 Alignment method based on matched dual-grating moire fringe for proximity lithography 期刊论文  OAI收割 OPTICAL ENGINEERING, 2012, 卷号: 51, 期号: 11 作者:  Zhu, Jiangping;  Hu, Song;  Yu, Junsheng;  Tang, Yan 收藏  |  浏览/下载：16/0  |  提交时间：2015/07/10 lithography alignment  moire fringe  angular displacement