机构

• 光电技术研究所 [1]
• 高能物理研究所 [1]

采集方式

• OAI收割 [2]

内容类型

• 期刊论文 [2]

发表日期

• 2016 [2]

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浏览/检索结果: 共2条，第1-2条 帮助 限定条件 发表日期：2016     条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择提交时间升序提交时间降序发表日期升序发表日期降序题名升序题名降序作者升序作者降序 Topography measurement of micro structure by modulation-based method 期刊论文  OAI收割 Proceedings of SPIE: 8th International Symposium on Advanced Optical Manufacturing and Testing Technologies: Design, Manufacturing, and Testing of Micro- and Nano-Optical Devices and Systems; and Smart Structures and Materials, 2016, 卷号: 9685, 页码: 968505 作者:  Zhou, Yi;  Tang, Yan;  Liu, Junbo;  Deng, Qinyuan   |  收藏  |  浏览/下载：19/0  |  提交时间：2018/06/14 Interferometry  Light Sources  Manufacture  Materials Testing  Microstructure  Optical Devices  Pixels  Surface Measurement  Topography   Two dimensional surface slope metrology with enhanced spatial resolution based on wavefront coding method 期刊论文  OAI收割 8TH INTERNATIONAL SYMPOSIUM ON ADVANCED OPTICAL MANUFACTURING AND TESTING TECHNOLOGIES: SUBNANOMETER ACCURACY MEASUREMENT FOR SYNCHROTRON OPTICS AND X-RAY OPTICS, 2016, 卷号: 9687, 页码: - 作者:  Zhang, XW;  Li, M;  Li M(李明);  Yang, FG;  Zhang XW(张晓伟)   |  收藏  |  浏览/下载：17/0  |  提交时间：2017/07/24 slope profiler  X-ray optics  wavefront coding  spatial modulator