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上海微系统与信息技术... [2]
采集方式
OAI收割 [2]
内容类型
期刊论文 [2]
发表日期
2001 [2]
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发表日期:2001
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Non-Rutherford backscattering studies of SiC/SIMOX structures
期刊论文
OAI收割
APPLIED SURFACE SCIENCE, 2001, 卷号: 184, 期号: 1-4, 页码: 178-182
Chen,KW
;
Yu,YH
;
Lei,YM
;
Cheng,LL
;
Sundaraval,B
;
Luo,EZ
;
Wong,SP
;
Wilson,IH
;
Chen,LZ
;
Ren,CX
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Zou,SC
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提交时间:2012/03/24
H FILMS
Structural and optical properties of SiC films deposited on Si by DG magnetron sputtering
期刊论文
OAI收割
SILICON CARBIDE AND RELATED MATERIALS, ECSCRM2000, 2001, 卷号: 353-356, 期号: 0, 页码: 191-194
Lei,YM
;
Yu,YH
;
Cheng,LL
;
Lin,L
;
Sundaraval,B
;
Luo,EZ
;
Lin,S
;
Ren,CX
;
Cheung,WY
;
Wong,SP
;
Xu,JB
;
Zou,SC
;
Wilson,IH
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提交时间:2012/03/24
ALLOYS