机构

• 微电子研究所 [1]
• 上海微系统与信息技术... [1]
• 半导体研究所 [1]

采集方式

• OAI收割 [3]

内容类型

• 专利 [3]

发表日期

• 2017 [1]
• 2009 [1]
• 2006 [1]

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浏览/检索结果: 共3条，第1-3条 帮助 限定条件 内容类型：专利     条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择提交时间升序提交时间降序发表日期升序发表日期降序题名升序题名降序作者升序作者降序 电子束光刻对准标记在芯片上的布局 专利  OAI收割 专利号: CN201410103327.1, 申请日期: 2017-02-01, 公开日期: 2015-09-23 作者:  牛洁斌;  刘明;  陈宝钦;  谢常青;  龙世兵   |  收藏  |  浏览/下载：11/0  |  提交时间：2018/04/27 一种利用稀盐酸选择腐蚀砷化铝制作空气隙结构的方法 专利  OAI收割 专利类型: 发明, 申请日期: 2009-06-17, 公开日期: 3998, 2010-10-15 作者:  杨晓红 收藏  |  浏览/下载：109/0  |  提交时间：2010/03/19 一种小型微流控芯片电泳检测系统和检测自动控制方法 专利  OAI收割 专利类型: 发明, 专利号: CN1727888, 申请日期: 2006-02-01, 公开日期: 2006-02-01 金庆辉; 朱海兵; 刘菁; 庄贵生; 赵建龙 收藏  |  浏览/下载：11/0  |  提交时间：2012/01/06