机构

• 光电技术研究所 [4]

采集方式

• OAI收割 [4]

内容类型

• 期刊论文 [4]

发表日期

• 2015 [4]

学科主题

• Alignment [1]
• Lithograph... [1]

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浏览/检索结果: 共4条，第1-4条 帮助 限定条件 发表日期：2015     条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择提交时间升序提交时间降序发表日期升序发表日期降序题名升序题名降序作者升序作者降序 Adjustment Strategy for Inclination Moire Fringes in Lithography by Spatial Frequency Decomposition 期刊论文  OAI收割 IEEE PHOTONICS TECHNOLOGY LETTERS, 2015, 卷号: 27, 期号: 4 作者:  Zhu, Jiangping;  Hu, Song;  Su, Xianyu;  You, Zhisheng 收藏  |  浏览/下载：14/0  |  提交时间：2015/07/10 Proximity lithography  mask-wafer alignment  phase analysis  spatial frequency   Gap-optimized Moire phase imaging alignment for proximity lithography 期刊论文  OAI收割 OPTICAL ENGINEERING, 2015, 卷号: 54, 期号: 1 作者:  Zhu, Jiangping;  Hu, Song;  You, Zhisheng;  Su, Xianyu 收藏  |  浏览/下载：20/0  |  提交时间：2015/07/10 lithography  alignment  Moire techniques   Gap-optimized Moiré phase imaging alignment for proximity lithography 期刊论文  OAI收割 Optical Engineering, 2015, 卷号: 54, 期号: 1, 页码: 17105 作者:  Zhu, Jiangping;  Hu, Song;  You, Zhisheng;  Su, Xianyu 收藏  |  浏览/下载：17/0  |  提交时间：2016/11/23 Adjustment strategy for inclination moiré fringes in lithography by spatial frequency decomposition 期刊论文  OAI收割 IEEE Photonics Technology Letters, 2015, 卷号: 27, 期号: 4 作者:  Zhu, Jiangping;  Hu, Song;  Su, Xianyu;  You, Zhisheng 收藏  |  浏览/下载：16/0  |  提交时间：2016/11/23