机构

• 上海微系统与信息技术... [4]

采集方式

• OAI收割 [4]

内容类型

• 期刊论文 [4]

发表日期

• 2010 [1]
• 2006 [1]
• 2003 [1]
• 2001 [1]

学科主题

• Engineerin... [2]
• Engineerin... [1]
• Optics [1]

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浏览/检索结果: 共4条，第1-4条 帮助 限定条件 专题：上海微系统与信息技术研究所    第一署名单位    第一作者单位    通讯作者单位     条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择提交时间升序提交时间降序发表日期升序发表日期降序题名升序题名降序作者升序作者降序 Micromachining SU-8 pivot structures using AZ photoresist as direct sacrificial layers for a large wing displacement 期刊论文  OAI收割 JOURNAL OF MICROMECHANICS AND MICROENGINEERING, 2010, 卷号: 20, 期号: 2, 页码: 25005-25005 Bao, XQ; Dargent, T; Cattan, E 收藏  |  浏览/下载：13/0  |  提交时间：2012/03/24 FABRICATION  MICROSTRUCTURES  LITHOGRAPHY  CHANNELS  EXPOSURE  MOLD   Single-wafer-processed nano-positioning XY-stages with trench-sidewall micromachining technology 期刊论文  OAI收割 JOURNAL OF MICROMECHANICS AND MICROENGINEERING, 2006, 卷号: 16, 期号: 7, 页码: 1349-1357 Gu, L; Li, XX; Bao, HF; Liu, B; Wang, YL; Liu, M; Yang, ZX; Cheng, BL 收藏  |  浏览/下载：78/0  |  提交时间：2011/11/08 HIGH-ASPECT-RATIO  CRYSTAL SILICON  COMB ACTUATORS  MICROSTRUCTURES  MICROACTUATORS  FABRICATION  MEMS  MASK   A novel bulk micromachined gyroscope with slots structure working at atmosphere 期刊论文  OAI收割 SENSORS AND ACTUATORS A-PHYSICAL, 2003, 卷号: 107, 期号: 2, 页码: 137-145 Xiong, B; Che, LF; Wang, YL 收藏  |  浏览/下载：16/0  |  提交时间：2012/03/24 MICROSTRUCTURES  BEAM   A novel silicon micromachined gyroscope with high Q at atmosphere 期刊论文  OAI收割 MICROMACHINING AND MICROFABRICATION PROCESS TECHNOLOGY AND DEVICES, 2001, 卷号: 4601, 页码: 38-42 Xiong, B; Wang, YL; Che, LF; Wang, WY 收藏  |  浏览/下载：14/0  |  提交时间：2012/03/24 MICROSTRUCTURES  BEAM