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上海微系统与信息技术... [2]
采集方式
OAI收割 [2]
内容类型
期刊论文 [2]
发表日期
2008 [2]
学科主题
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浏览/检索结果:
共2条,第1-2条
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发表日期:2008
内容类型:期刊论文
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一种圆片级硅三层键合的三明治加速度传感器
期刊论文
OAI收割
传感技术学报, 2008, 期号: 02
徐玮鹤
;
林友玲
;
车录锋
;
李玉芳
;
熊斌
;
王跃林
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提交时间:2012/01/06
微机械探卡
芯片测试
悬臂梁
接触电阻
波长扩展InGaAs探测器的量子效率优化
期刊论文
OAI收割
半导体光电, 2008, 期号: 06
田招兵
;
顾溢
;
张晓钧
;
张永刚
收藏
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浏览/下载:23/0
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提交时间:2012/01/06
电容式加速度传感器
硅硅键合
圆片级真空封装