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浏览/检索结果: 共56条，第1-10条 帮助 条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择提交时间升序提交时间降序发表日期升序发表日期降序题名升序题名降序作者升序作者降序 新型三明治MEMS加速度传感器的设计、制作与测试 学位论文  OAI收割 博士: 中国科学院研究生院（上海微系统与信息技术研究所）  , 2012 周晓峰 收藏  |  浏览/下载：118/0  |  提交时间：2013/04/24 微电子机械系统  加速度传感器  地震检波器  腐蚀自停止   三明治电容式MEMS加速度传感器真空封装研究 学位论文  OAI收割 硕士: 中国科学院研究生院（上海微系统与信息技术研究所）  , 2012 蔡梅妮 收藏  |  浏览/下载：145/0  |  提交时间：2013/04/24 MEMS加速度传感器  吸气剂  器件级真空封装  Q  自停止腐蚀   三明治电容式MEMS加速度计的器件级真空封装 期刊论文  OAI收割 半导体技术, 2012, 期号: 10, 页码: 790-794+814 蔡梅妮; 车录锋; 林友玲; 周晓峰; 黎晓林; 吴健 收藏  |  浏览/下载：58/0  |  提交时间：2013/02/22 三明治式MEMS加速度计  自停止腐蚀工艺  吸气剂  品质因子  器件级真空封装   用于器件级真空封装的MEMS加速度传感器的设计与制作 期刊论文  OAI收割 传感器与微系统, 2012, 期号: 12, 页码: 107-110+113 蔡梅妮; 林友玲; 车录锋; 苏荣涛; 周晓峰; 黎晓林 收藏  |  浏览/下载：22/0  |  提交时间：2013/02/22 三明治电容式MEMS加速度传感器  自停止腐蚀  品质因数  器件级真空封装  双面划片   基于金硅原电池保护电容加速度计的制作 期刊论文  OAI收割 传感器与微系统, 2012, 期号: 1, 页码: 133-136 王辉; 吴燕红; 杨恒 收藏  |  浏览/下载：26/0  |  提交时间：2013/02/22 电容加速度计  金硅原电池  反熔丝  腐蚀自停止   车载光电跟瞄设备主动隔振系统设计 学位论文  OAI收割 硕士, 北京: 中国科学院研究生院, 2011 高常春 收藏  |  浏览/下载：137/0  |  提交时间：2014/12/11 二级主动隔振平台 悬臂式支架 模糊PID 控制 虚拟样机 联合仿真   反馈补偿对高Q值加速度计动态性能的影响 期刊论文  OAI收割 半导体技术, 2011, 期号: 01 戚玉婕; 车录锋; 孙腾; 王跃林 收藏  |  浏览/下载：20/0  |  提交时间：2012/04/13 电容式加速度计  反馈补偿参数  Q值  微机械系统  MATLAB   基于环绕悬栅JFET管的数字时间式加速度传感器研究 学位论文  OAI收割 硕士: 中国科学院研究生院（上海微系统与信息技术研究所）  , 2010 戴斌 收藏  |  浏览/下载：10/0  |  提交时间：2012/03/06 微电子机械系统 加速度传感器 吸合时间 场效应管 电化学腐蚀   MEMS电容式加速度传感器Q值测试与力反馈接口电路研究 学位论文  OAI收割 硕士: 中国科学院研究生院（上海微系统与信息技术研究所）  , 2010 张灵霖 收藏  |  浏览/下载：28/0  |  提交时间：2012/03/06 MEMS电容式高Q值加速度传感器闭环检测电路研究 学位论文  OAI收割 硕士: 中国科学院研究生院（上海微系统与信息技术研究所）  , 2010 孙腾 收藏  |  浏览/下载：79/0  |  提交时间：2012/03/06 高Q值  加速度传感器  闭环检测电路  力反馈  ΣΔ技术