机构

• 上海光学精密机械研究... [3]

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• OAI收割 [3]

内容类型

• 期刊论文 [3]

发表日期

• 2007 [3]

学科主题

• 光学薄膜 [3]

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浏览/检索结果: 共3条，第1-3条 帮助 限定条件 学科主题：光学薄膜    专题：上海光学精密机械研究所    第一署名单位    第一作者单位    通讯作者单位     条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择提交时间升序提交时间降序题名升序题名降序作者升序作者降序发表日期升序发表日期降序 Mo／Si软X射线多层膜的界面粗糙度研究 期刊论文  OAI收割 强激光与粒子束, 2007, 卷号: 19, 期号: 5, 页码: 763, 766 秦俊岭; 邵建达; 易葵; 周洪军; 霍同林; 范正修 收藏  |  浏览/下载：820/182  |  提交时间：2009/09/22 Mo／Si多层膜  Atomic force microscopy  软X射线  Magnetron sputtering  界面粗糙度  Surface roughness  反射率  X ray diffraction   不同膜层数的Mo/Si多层膜的表界面粗糙度和软X射线反射率 期刊论文  OAI收割 Chin. Opt. Lett., 2007, 卷号: 5, 期号: 5, 页码: 301, 303 秦俊岭; 邵建达; 易葵; 范正修 收藏  |  浏览/下载：501/116  |  提交时间：2009/09/22 Mo/Si多层膜  软X射线反射率  表面粗糙度  界面粗糙度  膜层数  Atomic force microscopy  Magnetron sputtering  Reflection  Surface roughness  Synchrotron radiation  X ray diffraction analysis   用不同的Mo靶溅射功率制备Mo／Si多层膜 期刊论文  OAI收割 强激光与粒子束, 2007, 卷号: 19, 期号: 1, 页码: 67, 70 秦俊岭; 邵建达; 易葵 收藏  |  浏览/下载：928/163  |  提交时间：2009/09/22 Mo靶  Atomic force microscopy  Mo／Si多层膜  Magnetron sputtering  溅射功率  Molybdenum  软X射线  Reflection  反射率  Surface morphology  Surface roughness  X ray diffraction analysis  X rays