机构

• 半导体研究所 [7]

采集方式

• OAI收割 [7]

内容类型

• 期刊论文 [6]
• 会议论文 [1]

发表日期

• 2008 [1]
• 2005 [1]
• 2004 [1]
• 2001 [1]
• 1998 [2]
• 1991 [1]
• 更多

学科主题

• 半导体材料 [7]

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浏览/检索结果: 共7条，第1-7条 帮助 限定条件 学科主题：半导体材料     条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择提交时间升序提交时间降序题名升序题名降序作者升序作者降序发表日期升序发表日期降序 Fracture Properties of LPCVD Silicon Nitride and Thermally Grown Silicon Oxide Thin Films From the Load-Deflection of Long Si3N4 and SiO2/Si3N4 Diaphragms 期刊论文  OAI收割 journal of microelectromechanical systems, 2008, 卷号: 17, 期号: 5, 页码: 1120-1134 Yang, JL; Gaspar, J; Paul, O 收藏  |  浏览/下载：24/0  |  提交时间：2010/03/08 Bulge test  fracture  pooled Weibull analysis  silicon nitride (Si3N4)  silicon oxide (SiO2)   Silica and alumina thin films grown by liquid phase deposition 期刊论文  OAI收割 pricm 5: the fifth pacific rim international conference on advanced materials and processing, 2005, 卷号: pts 1-5, 期号: 475-479, 页码: 1725-1728 Sun, J; Hu, LZ; Wang, ZY; Du, GT 收藏  |  浏览/下载：25/0  |  提交时间：2010/03/17 silica  alumina  liquid phase deposition  semiconductors  ELECTRICAL CHARACTERISTICS  DIOXIDE FILMS  OXIDE-FILMS   Growth of CeO2 : Bi12SiO20 crystals in multi-position furnace(II) - Space growth experiment 期刊论文  OAI收割 journal of inorganic materials, 2004, 卷号: 19, 期号: 2, 页码: 283-288 Zhou YF; Wang JC; Tang LA; Chen NF; Chen WC 收藏  |  浏览/下载：64/18  |  提交时间：2010/03/09 doped cerium bismuth silicon oxides (Ce : BSO)   The PL "violet shift" of cerium dioxide on silicon 期刊论文  OAI收割 chinese science bulletin, 2001, 卷号: 46, 期号: 24, 页码: 2046-2048 Chai CL; Yang SY; Liu ZK; Liao MY; Chen NF; Wang ZG 收藏  |  浏览/下载：96/8  |  提交时间：2010/08/12 cerium dioxide thin film  PL violet shift  THIN-FILMS  DEPOSITION  CEO2  INTERFACE  OXIDES  GROWTH   Dependence of ultra-thin gate oxide reliability on surface cleaning approach 会议论文  OAI收割 5th international conference on solid-state and integrated circuit technology, beijing, peoples r china, oct 21-23, 1998 Gao WY; Liu ZL; He ZJ 收藏  |  浏览/下载：15/0  |  提交时间：2010/10/29 CHEMICAL TREATMENT  QUALITY  TECHNOLOGY  FILMS   A study of the interface of CeO2/Si heterostructure grown by ion beam deposition 期刊论文  OAI收割 vacuum, 1998, 卷号: 51, 期号: 3, 页码: 397-401 Wu ZL; Huang DD; Yang XZ 收藏  |  浏览/下载：37/0  |  提交时间：2010/08/12 X-RAY PHOTOELECTRON  EPITAXIAL-GROWTH  SILICON  SPECTROSCOPY  SURFACES  SI(111)  OXIDES  LAYERS  SI   PHOTOEMISSION-STUDY ON THE SNO2/P A-SICX-H INTERFACE 期刊论文  OAI收割 journal of non-crystalline solids, 1991, 卷号: 137, 期号: 0, 页码: 1091-1094 LIAO XB; KONG GL; WANG YX; ZHENG HD; ZHANG Q 收藏  |  浏览/下载：14/0  |  提交时间：2010/11/15 TRANSPARENT CONDUCTING OXIDES  AMORPHOUS-SILICON  HYDROGEN PLASMA  SPECTROSCOPY  BARRIER  FILMS