机构

• 上海微系统与信息技术... [3]

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• OAI收割 [3]

内容类型

• 期刊论文 [3]

发表日期

• 2008 [1]
• 2002 [1]
• 1999 [1]

学科主题

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浏览/检索结果: 共3条，第1-3条 帮助 限定条件 学科主题：Materials Science    专题：上海微系统与信息技术研究所    第一署名单位    第一作者单位    通讯作者单位     条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择提交时间升序提交时间降序题名升序题名降序作者升序作者降序发表日期升序发表日期降序 Research on metastable electron traps in the modified SOI materials induced by Si ion implantation 期刊论文  OAI收割 JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY A, 2008, 卷号: 26, 期号: 2, 页码: L1-L4 Zhang, EX; Yu, ZS; Cao, YG; Yang, H; Zhang, ZX; Wang, X 收藏  |  浏览/下载：8/0  |  提交时间：2011/11/04 SIMOX BURIED OXIDES  RAY PHOTOELECTRON-SPECTROSCOPY  RADIATION RESPONSE  OXYGEN  INSULATOR   Fabrication of device-grade separation-by-implantation-of-oxygen materials by optimizing dose-energy match 期刊论文  OAI收割 JOURNAL OF MATERIALS RESEARCH, 2002, 卷号: 17, 期号: 7, 页码: 1634-1643 Chen,M; Yu,YH; Wang,X; Wang,X; Chen,J; Liu,XH; Dong,YM 收藏  |  浏览/下载：25/0  |  提交时间：2012/03/24 BURIED OXIDE  ION-IMPLANTATION  SIMOX  SILICON  LAYERS  TEMPERATURE  WAFERS   A study of optical characteristics of damage in oxygen-implanted 6H-SiC 期刊论文  OAI收割 JOURNAL OF MATERIALS SCIENCE LETTERS, 1999, 卷号: 18, 期号: 12, 页码: 979-982 Wang,LW; Huang,JP; Lin,CL; Zou,SC; Zheng,YX; Wang,XJ; Huang,DM; Zetterling,CM; Ostling,M 收藏  |  浏览/下载：22/0  |  提交时间：2012/03/25 ENHANCED THERMAL-OXIDATION  SILICON-CARBIDE  ION-IMPLANTATION  THIN-FILMS  AMORPHIZATION  LAYERS