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用于FBG刻写的小型准分子激光器实验研究
期刊论文
OAI收割
量子电子学报, 2018, 卷号: 035
作者:
张威
;
方晓东
;
梁勖
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浏览/下载:39/0
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提交时间:2020/11/25
激光技术
准分子激光
光纤布拉格光栅
相位掩模
小型化
光源掩模协同优化的原理与应用
期刊论文
OAI收割
半导体技术, 2017
作者:
韦亚一
;
董立松
;
何建芳
;
陈文辉
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浏览/下载:21/0
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提交时间:2018/06/08
超大规模集成电路先进光刻理论与应用
专著
OAI收割
北京:科学出版社, 2016
作者:
韦亚一
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浏览/下载:136/0
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提交时间:2018/02/26
基于遗传算法的光刻机光源掩模优化技术研究
学位论文
OAI收割
博士: 中国科学院上海光学精密机械研究所, 2016
作者:
杨朝兴
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浏览/下载:65/0
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提交时间:2016/11/28
光刻
分辨率增强技术
光源掩模优化
遗传算法
Pixelated Source Mask Optimization Based on Multi Chromosome Genetic Algorithm
期刊论文
OAI收割
光学学报, 2016, 卷号: 36, 期号: 8, 页码: 811001
作者:
Yang CX(杨朝兴)
;
Li SK(李思坤)
;
Wang XC(王向朝)
收藏
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浏览/下载:9/0
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提交时间:2017/12/25
Source Mask Optimization Based on Dynamic Fitness Function
期刊论文
OAI收割
光学学报, 2016, 卷号: 36, 期号: 1, 页码: 111006
作者:
Yang CX(杨朝兴)
;
Li SK(李思坤)
;
Wang XC(王向朝)
收藏
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浏览/下载:28/0
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提交时间:2017/12/25
Source Mask Optimization Based on Dynamic Fitness Function
期刊论文
OAI收割
光学学报, 2016, 卷号: 36, 期号: 1, 页码: 111006
作者:
Wang XC(王向朝)
;
Yang CX(杨朝兴)
;
Li SK(李思坤)
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浏览/下载:14/0
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提交时间:2017/12/25
Pixelated Source Mask Optimization Based on Multi Chromosome Genetic Algorithm
期刊论文
OAI收割
光学学报, 2016, 卷号: 36, 期号: 8, 页码: 811001
作者:
Wang XC(王向朝)
;
Yang CX(杨朝兴)
;
Li SK(李思坤)
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浏览/下载:10/0
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提交时间:2017/12/25
基于线性规划的光刻机光源优化方法
会议论文
OAI收割
作者:
李思坤
;
王磊
;
杨朝兴
;
王向朝
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浏览/下载:13/0
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提交时间:2017/12/25
用于制作FBG的紧凑型准分子激光器的研究
期刊论文
OAI收割
红外与激光工程, 2016, 卷号: 045
作者:
张威
;
梁勖
;
陶汝华
;
方晓东
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浏览/下载:8/0
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提交时间:2020/11/25
准分子激光器
气体配比
输出能量
输出效率
光纤布拉格光栅