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浏览/检索结果: 共155条，第1-10条 帮助 条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择提交时间升序提交时间降序题名升序题名降序作者升序作者降序发表日期升序发表日期降序 Theoretical Exposure Dose Modeling and Phase Modulation to Pattern a VLS Plane Grating with Variable-Period Scanning Beam Interference Lithography 期刊论文  OAI收割 Applied Sciences-Basel, 2022, 卷号: 12, 期号: 15, 页码: 13 作者:  Y. Song;  N. Zhang;  Y. J. Liu;  L. Zhang and Z. W. Liu   |  收藏  |  浏览/下载：14/0  |  提交时间：2023/06/14 Fabrication of ultra-high aspect ratio silicon grating using an alignment method based on a scanning beam interference lithography system 期刊论文  OAI收割 Optics Express, 2022, 卷号: 30, 期号: 22, 页码: 40842-40853 作者:  X. S. Chen;  S. Jiang;  Y. B. Li;  Y. X. Jiang;  W. Wang and Bayanheshig   |  收藏  |  浏览/下载：5/0  |  提交时间：2023/06/14 Incidence Angle Effects on the Fabrication of Microstructures Using Six-Beam Laser Interference Lithography 期刊论文  OAI收割 COATINGS, 2021, 卷号: 11, 期号: 1, 页码: 7 作者:  Jia, Tianxu;  Wang, Xiangxian;  Ren, Yaqian;  Su, Yingwen;  Zhang, Liping   |  收藏  |  浏览/下载：48/0  |  提交时间：2021/12/10 laser interference lithography  microstructure  incidence angle   Active control technology of a diffraction grating wavefront by scanning beam interference lithography 期刊论文  OAI收割 Optics Express, 2021, 卷号: 29, 期号: 23, 页码: 5 作者:  Z. Liu;  H. Yang;  Y. Li;  S. Jiang;  W. Wang   |  收藏  |  浏览/下载：13/0  |  提交时间：2022/06/13 Method for exposure dose monitoring and control in scanning beam interference lithography 期刊论文  OAI收割 Applied Optics, 2021, 卷号: 60, 期号: 10, 页码: 2767-2774 作者:  Y. Song;  Y. Liu;  S. Jiang;  Y. Zhu;  L. Zhang and Z. Liu   |  收藏  |  浏览/下载：7/0  |  提交时间：2022/06/13 Catenary Functions Meet Electromagnetic Waves: Opportunities and Promises 期刊论文  OAI收割 Advanced Optical Materials, 2020, 卷号: 8, 期号: 23, 页码: 2001194-1-24 作者:  Luo, Xiangang;  Pu, Mingbo;  Guo, Yinghui;  Li, Xiong;  Zhang, Fei   |  收藏  |  浏览/下载：34/0  |  提交时间：2021/05/11 Catenary  Flat Optics  Metasurfaces  Plasmonics  Subdiffraction Optics   Measurement of Wafer Focus by Grating Shearing Interferometry 期刊论文  OAI收割 Applied Sciences-Basel, 2020, 卷号: 10, 期号: 3, 页码: 10217467-1-8 作者:  Wang, Jian;  Hu, Song;  Zhu, Xianchang   |  收藏  |  浏览/下载：14/0  |  提交时间：2021/05/11 Focusing  Grating  Shearing Interferometry  Lithography   Second Time-Scale Synthesis of High-Quality Graphite Films by Quenching for Effective Electromagnetic Interference Shielding 期刊论文  OAI收割 ACS NANO, 2020, 卷号: 14, 期号: 3, 页码: 3121-3128 作者:  Zhou, Tianya;  Xu, Chuan;  Liu, Haopeng;  Wei, Qinwei;  Wang, Han   |  收藏  |  浏览/下载：16/0  |  提交时间：2021/02/02 graphite film  liquid carbon source quenching  electrical conductivity  mechanical strength  flexible electromagnetic interference shielding   Fabrication of random microlens array for laser beam homogenization with high efficiency 期刊论文  OAI收割 Micromachines, 2020, 卷号: 11, 期号: 3 作者:  Xue, Li;  Pang, Yingfei;  Liu, Wenjing;  Liu, Liwei;  Pang, Hui   |  收藏  |  浏览/下载：18/0  |  提交时间：2021/05/11 chemical etching  random microlens array  beam homogenization  laser   Heterodyne period measurement in a scanning beam interference lithography system 期刊论文  OAI收割 Applied Optics, 2020, 卷号: 59, 期号: 19, 页码: 5830-5836 作者:  S. Jiang,B. Lu,Y. Song,Z. W. Liu,W. Wang,L. Shuo and Bayanheshig   |  收藏  |  浏览/下载：29/0  |  提交时间：2021/07/06