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发表日期

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浏览/检索结果: 共6条，第1-6条 帮助 条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序作者升序作者降序 Large range nano alignment for proximity lithography using complex grating 期刊论文  OAI收割 Optics and Laser Technology, 2019, 卷号: 112, 页码: 101-106 作者:  Tang, Yan;  Liu, Junbo;  Yang, Yong;  Hu, Song;  Zhao, Lixin   |  收藏  |  浏览/下载：27/0  |  提交时间：2021/05/06 Evolution of tribo-induced interfacial nanostructures governing superlubricity in a-C:H and a-C:H:Si films 期刊论文  OAI收割 NATURE COMMUNICATIONS, 2017, 卷号: 8, 页码: 1675 作者:  Chen, Xinchun;  Zhang, Chenhui;  Kato, Takahisa;  Yang, Xin-an;  Wu, Sudong   |  收藏  |  浏览/下载：26/0  |  提交时间：2017/12/25 复合结构光栅大范围高精度光刻对准技术研究 学位论文  OAI收割 硕士, 北京: 中国科学院研究生院, 2016 作者:  司新春 收藏  |  浏览/下载：21/0  |  提交时间：2017/01/06 复合光栅，光刻，对准，莫尔条纹   Moire-Based Interferometry for Magnification Calibration of Bitelecentric Lens System 期刊论文  OAI收割 IEEE PHOTONICS JOURNAL, 2015, 卷号: 7, 期号: 6 作者:  Zhou, Yi;  Zhu, Jiangping;  Deng, Qinyuan;  Liu, Junbo;  Si, Xinchun 收藏  |  浏览/下载：32/0  |  提交时间：2016/02/03 Moire fringes  magnification  grating marks  phase analysis   基于二维Ronchi光栅的纳米光刻对准技术研究 期刊论文  OAI收割 中国激光, 2015, 卷号: 42, 期号: 9, 页码: 301-307 作者:  司新春,佟军民,唐燕等 收藏  |  浏览/下载：28/0  |  提交时间：2016/11/22 傅里叶光学  二维光栅  光刻对准  叠栅条纹  频谱   Moiré-Based Interferometry for Magnification Calibration of Bitelecentric Lens System 期刊论文  OAI收割 IEEE Photonics Journal, 2015, 卷号: 7, 期号: 6, 页码: 3900311 作者:  Zhou, Yi;  Zhu, Jiangping;  Deng, Qinyuan;  Liu, Junbo;  Si, Xinchun 收藏  |  浏览/下载：23/0  |  提交时间：2016/11/23