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机构
合肥物质科学研究院 [3]
西安光学精密机械研究... [1]
采集方式
OAI收割 [4]
内容类型
期刊论文 [3]
专利 [1]
发表日期
2005 [1]
2004 [1]
2003 [2]
学科主题
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浏览/检索结果:
共4条,第1-4条
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氮化硅钝化膜的制备和应用
期刊论文
OAI收割
量子电子学报, 2005, 卷号: 022
作者:
陈俊芳
;
吴先球
;
樊双利
;
王鑫
;
任兆杏
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浏览/下载:14/0
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提交时间:2020/11/25
光电子学
ECR—PECVD
氮化硅钝化膜
芯片
全光学化铷频标方法及其系统
专利
OAI收割
专利号: CN1523398A, 申请日期: 2004-08-25, 公开日期: 2004-08-25
作者:
孙番典
;
杨世琪
;
刘琼发
;
孙汪典
;
吴先球
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浏览/下载:16/0
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提交时间:2019/12/31
等离子体离子能量自动分析器的研制和应用
期刊论文
OAI收割
电子学报, 2003, 卷号: 031
作者:
吴先球
;
陈俊芳
;
蒋珍美
;
熊予莹
;
吴开华
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浏览/下载:55/0
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提交时间:2020/10/26
离子能量分布
器件损伤
自动能量分析器
ECR-PECVD
ECR—PECVD制备氮化硅薄膜的键态结构
期刊论文
OAI收割
功能材料, 2003, 卷号: 034
作者:
吴先球
;
陈俊芳
;
熊予莹
;
吴开华
;
仁兆杏
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浏览/下载:13/0
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提交时间:2020/11/25
ECR-PECVD
制备
氮化硅薄膜
键态结构