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光电技术研究所 [3]
采集方式
OAI收割 [3]
内容类型
期刊论文 [3]
发表日期
2006 [1]
2005 [1]
2003 [1]
学科主题
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共3条,第1-3条
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厚胶光刻中曝光光强对光化学反应速率的影响
期刊论文
OAI收割
光电工程, 2006, 卷号: 33, 期号: 5, 页码: 36~
唐雄贵
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浏览/下载:13/0
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提交时间:2015/05/06
烘焙工艺条件对厚胶光刻面形的影响
期刊论文
OAI收割
微细加工技术, 2005, 期号: 3, 页码: 31-
唐雄贵
;
姚欣
;
郭永康
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浏览/下载:44/0
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提交时间:2015/04/23
连续面形微光学元件的深刻蚀工艺
期刊论文
OAI收割
光电工程, 2003, 卷号: 30, 期号: 3, 页码: 13~16
唐雄贵
;
杜春雷
;
邱传凯
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浏览/下载:13/0
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提交时间:2014/12/23