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软X射线光发射电子显微镜光束线聚焦用KB镜系统
期刊论文
OAI收割
光学精密工程, 2017, 页码: 2810-2816
作者:
陈家华
;
龚学鹏
;
薛松
;
卢启鹏
;
彭忠琦
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浏览/下载:63/0
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提交时间:2018/04/09
同步辐射
光发射电子显微镜(Peem)
X射线显微镜
Kb镜
结构设计
极紫外光刻机多层膜反射镜表面碳污染的清洗
期刊论文
OAI收割
光学精密工程, 2017, 页码: 2835-2844
作者:
宋源
;
卢启鹏
;
龚学鹏
;
王依
;
彭忠琦
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浏览/下载:50/0
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提交时间:2018/04/09
极紫外光刻机
碳污染
清洗技术
多层膜反射镜
软X射线光发射电子显微镜光束线聚焦用KB镜系统
期刊论文
OAI收割
光学精密工程, 2017, 卷号: 25, 期号: 7, 页码: 2810-2816
作者:
陈家华
;
龚学鹏
;
薛松
;
卢启鹏
;
彭忠琦
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收藏
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浏览/下载:37/0
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提交时间:2018/08/17
同步辐射
光发射电子显微镜(Peem)
X射线显微镜
Kb镜
结构设计
Sperm tsRNAs Contribute to Intergenerational Inheritance of an Acquired Metabolic Disorder
期刊论文
OAI收割
Science, 2016, 卷号: 351, 期号: 6271, 页码: 397-400
作者:
Chen Q(陈琦)
;
Meng-Hong Yan
;
Cao ZH(曹忠红)
;
Li X(李鑫)
;
Zhang YF(张云芳)
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浏览/下载:24/0
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提交时间:2017/07/06
X射线干涉光刻光束线偏转镜系统的设计与测试
期刊论文
OAI收割
光学精密工程, 2014, 期号: 8, 页码: 2142-2150
作者:
彭忠琦
;
卢启鹏
;
龚学鹏
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浏览/下载:45/0
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提交时间:2015/04/17
上海同步辐射光源
X射线干涉光刻
偏转镜
结构设计
精度测试
前置平面镜热负载对变包含角平面光栅单色器分辨率的影响
期刊论文
OAI收割
中国光学, 2014, 期号: 1, 页码: 105-111
作者:
龚学鹏
;
彭忠琦
;
卢启鹏
收藏
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浏览/下载:33/0
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提交时间:2015/04/17
变包含角平面光栅单色器
热负载
聚焦常数
分辨率
斜率误差
极紫外光学元件表面碳污染模型的建立
期刊论文
OAI收割
光学学报, 2013, 期号: 12, 页码: 366-372
作者:
卢启鹏
;
龚学鹏
;
彭忠琦
收藏
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浏览/下载:19/0
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提交时间:2014/03/07
光学器件
极紫外光刻
碳氢化合物污染模型
多层膜光学元件
二次电子
超高真空精密四刀狭缝的结构原理及有限元分析
期刊论文
OAI收割
光学精密工程, 2013, 期号: 07, 页码: 1741-1747
作者:
卢启鹏
;
彭忠琦
;
龚学鹏
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浏览/下载:40/0
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提交时间:2014/03/07
X射线干涉光刻光束线
精密狭缝
四刀结构
重复精度
有限元分析
近红外无创生化分析中高效双复合抛物面聚光系统设计
期刊论文
OAI收割
光谱学与光谱分析, 2013, 期号: 05, 页码: 1406-1410
作者:
彭忠琦
;
卢启鹏
;
丁海泉
;
高洪智
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浏览/下载:29/0
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提交时间:2014/03/07
复合抛物面聚光器
光学设计
近红外
无创生化分析
软X射线谱学显微光束线单色器结构设计及精度测试
期刊论文
OAI收割
光学学报, 2013, 期号: 02, 页码: 308-313
作者:
龚学鹏
;
彭忠琦
;
卢启鹏
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浏览/下载:19/0
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提交时间:2014/03/07
光学器件
同步辐射
谱学显微
单色器
机械结构
重复精度