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• 长春光学精密机械与物... [2]
• 电子学研究所 [1]

采集方式

• OAI收割 [3]

内容类型

• 期刊论文 [3]

发表日期

• 2002 [1]
• 2001 [2]

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浏览/检索结果: 共3条，第1-3条 帮助 条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择题名升序题名降序提交时间升序提交时间降序作者升序作者降序发表日期升序发表日期降序 用于微机械的形状记忆合金薄膜工艺研究 期刊论文  OAI收割 中国机械工程, 2002, 期号: 01, 页码: 35-38+4 曲炳郡; 刘晓鹏; 李路明; 王立鼎 收藏  |  浏览/下载：13/0  |  提交时间：2013/03/11 形状记忆合金  薄膜  微型机电系统  冷轧  溅射  原子力显微镜   形状记忆合金薄膜微驱动器过程准可控研究 期刊论文  OAI收割 大连理工大学学报, 2001, 期号: 01, 页码: 64-66 曲炳郡; 李路明; 张玉玲; 王立鼎 收藏  |  浏览/下载：12/0  |  提交时间：2013/03/11 形状记忆合金薄膜/微夹持器  过程不可控  过程准可控  单元互联   TiNi形状记忆薄膜的光刻新工艺 期刊论文  OAI收割 仪器仪表学报, 2001, 卷号: 22, 期号: 4, 页码: 307-308 曲炳郡; 李路明; 王立鼎; 夏善红 收藏  |  浏览/下载：9/0  |  提交时间：2010/05/19 TiNi  形状记忆薄膜  光刻  Pt薄膜  MEMS