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NA1.35投影光刻光学系统偏振像差的优化
期刊论文
OAI收割
应用光学, 2019, 卷号: 40, 期号: 4, 页码: 575-582
作者:
李杰[1,2]
;
林妩媚[1]
;
廖志杰[1]
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浏览/下载:17/0
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提交时间:2021/05/06
光学设计
偏振像差
薄膜光学
Jones光瞳
成像对比度
Design and simulation of large field plate lithography lens
期刊论文
OAI收割
Proceedings of SPIE: 8th International Symposium on Advanced Optical Manufacturing and Testing Technologies: Design, Manufacturing, and Testing of Micro- and Nano-Optical Devices and Systems; and Smart Structures and Materials, 2016, 卷号: 9685, 页码: 96850V
作者:
Deng, Chao
;
Xing, Tingwen
;
Lin, Wumei
;
Zhu, Xianchang
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浏览/下载:26/0
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提交时间:2018/06/14
Fits And Tolerances
Lithography
Manufacture
Materials Testing
Optical Design
Optical Devices
Optical Systems
共孔径消热差红外双波段光学系统
会议论文
OAI收割
国防光电子论坛第二届新型探测技术及其应用研讨会论文集, 2015
作者:
白瑜
;
廖志远
;
廖胜
;
任栖峰
;
林妩媚
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提交时间:2016/11/23
拼接式全景头盔红外夜视仪系统设计
期刊论文
OAI收割
光电技术应用, 2014, 卷号: 29, 期号: 1, 页码: 26-31+48
作者:
白瑜
;
程习敏
;
冯成
;
邢廷文
;
林妩媚
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浏览/下载:16/0
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提交时间:2016/11/01
红外夜视仪
拼接
全景成像
头盔系统
光刻机照明系统专利分析
期刊论文
OAI收割
电子工业专用设备, 2014, 卷号: 43, 期号: 8, 页码: 1-7+19
作者:
张海波
;
林妩媚
;
廖志杰
;
白瑜
;
冯建美
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浏览/下载:37/0
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提交时间:2016/11/01
光刻机
照明系统
专利分析
专利统计
衍射光学元件的加工工艺及其在各种光谱镜头中的应用
期刊论文
OAI收割
光电技术应用, 2014, 卷号: 29, 期号: 2, 页码: 31-38+65
作者:
程习敏
;
白瑜
;
谢伟民
;
邢廷文
;
林妩媚
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提交时间:2016/11/01
衍射光学
光刻
薄膜沉积
金刚石车削
A hybrid algorithm for the design of diffractive optical element for beam shaping
会议论文
OAI收割
Proceedings of SPIE: 7th International Symposium on Advanced Optical Manufacturing and Testing Technologies: Design Manufacturing, and Testing of Micro- and Nano-Optical Devices, and Systems, 2014
作者:
Yin, Kewei
;
Huang, Zhiqiang
;
Lin, Wumei
;
Xing, Tingwen
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提交时间:2016/11/23
Design of MWIR step-zoom detection imaging system with a large FPA
会议论文
OAI收割
Proceedings of SPIE: 7TH INTERNATIONAL SYMPOSIUM ON ADVANCED OPTICAL MANUFACTURING AND TESTING TECHNOLOGIES: ADVANCED OPTICAL MANUFACTURING TECHNOLOGIES, 2014
作者:
Bai Yu
;
Xing Tingwen
;
Lin Wumei
;
Jiang Yadong
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浏览/下载:24/0
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提交时间:2016/11/23
非理想照明光瞳对光刻成像质量的影响
期刊论文
OAI收割
光电工程, 2013, 卷号: 40, 期号: 2, 页码: 87-92
作者:
陈安
;
林妩媚
;
江海波
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提交时间:2016/11/01
光刻仿真
非理想照明
光瞳偏心
离轴照明
衍射光学元件设计参数对杂散光的影响(英文)
期刊论文
OAI收割
红外与激光工程, 2013, 卷号: 42, 期号: 11, 页码: 3059-3064
作者:
殷可为
;
黄智强
;
林妩媚
;
邢廷文
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提交时间:2016/11/01
衍射光学元件
光束整形
衍射效率
相对周期